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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料工程 » 工艺设计与开发 » 晶体表面磁控溅射镀金，一直脱膜，该怎么优化工艺？
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古迹

金虫 (小有名气)

[求助] 晶体表面磁控溅射镀金，一直脱膜，该怎么优化工艺？已有3人参与

二氧化碲晶体表面，用磁控溅射镀膜，条件也试了很多种，一直脱膜，怎么解决啊，懂行的虫友给点意见吧。
条件是，以Cr作缓冲层，磁控溅射加轰击，电流115mA，打底真空度是1×10-3Pa，溅射真空3×10-1Pa，Cr溅射电流0.5A，Au溅射电流0.4A。
镀出来的膜不牢，用胶带一撕就脱落，是从Cr一起脱落的。单镀Cr层的时候还是很牢，就是一起镀两层的时候就脱落，这个该哪方面优化啊

晶体表面磁控溅射镀金，一直脱膜，该怎么优化工艺？


晶体表面磁控溅射镀金，一直脱膜，该怎么优化工艺？-1


晶体表面磁控溅射镀金，一直脱膜，该怎么优化工艺？-2


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1楼2021-02-03 09:32:02
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古迹

金虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 酸菜鱼jie at 2021-02-08 09:13:30
换电子束蒸发试试，

没有电子束蒸发设备
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5楼2021-02-19 17:04:34
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古迹

金虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by avad at 2021-02-08 09:58:51
应该与基体预处理有关，不知道采取了什么方法预处理？
本人经验：在金属表面溅射完全没有问题，在Si片镀就会出现脱落，情况跟您的一样。

基体预处理是使用汽油和丙酮分别擦拭表面，然后溅射前加离子轰击清理表面。
同样的方法镀玻璃片是没问题的，很牢不脱膜，镀氧化碲就脱膜
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6楼2021-02-19 17:07:17
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古迹

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 野人禾禾 at 2021-02-03 14:45:18
试试镀缓冲层加点氧

缓冲层加氧，是将铬氧化，生成氧化铬，做缓冲层吗？
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7楼2021-02-19 17:08:53
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古迹

金虫 (小有名气)
引用回帖:
10楼: Originally posted by sh_wizone at 2021-03-04 09:51:34
仅个人观点，1.用专业的清洗剂做处理，保证清洗的彻底性、无残留，不影响后续工艺。2.做好缓冲层的同时添加一些促进交联附着的助剂，改善镀层的附着力。希望能有所帮助。

有联系方式吗，我想试试你说的这种专业清洗剂
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12楼2021-03-08 11:27:48
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