24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
查看: 1486  |  回复: 7
【悬赏金币】回答本帖问题,作者wyc将赠送您 5 个金币
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

wyc

铜虫 (小有名气)

[求助] 单晶硅湿法刻蚀线宽 已有3人参与

请教:用2um正胶光刻出0.5mm的圆图形,湿法刻蚀硅纳米线,图形内刻不出来,发白或发黄,正常是黑色的,圆形尺寸1mm以上同样的工艺可以刻出来。是   光刻胶太厚了?怎么选择光刻胶,还是刻蚀方法不对?
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wyc

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by babyoflion at 2021-01-22 19:34:06
说实话我没看明白

就是一般用金属辅助刻蚀硅纳米线,普通的没有pattern图形的硅片或者有大尺寸图形(刻蚀暴露部分)的可以刻蚀出来,刻蚀部分面积越小越难刻
单晶硅湿法刻蚀线宽
无标题.jpg

3楼2021-01-22 21:53:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 8 个回答

babyoflion

金虫 (著名写手)

2楼2021-01-22 19:34:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

babyoflion

金虫 (著名写手)

为什么反复提到硅纳米线啊,0.5MM那么大也叫纳米线嘛

发自小木虫Android客户端
4楼2021-01-23 11:16:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

逐步成长

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

可以用干法直接刻蚀的啊,刻蚀深度大概多深呢
5楼2021-01-27 14:19:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
不应助 确定回帖应助 (注意:应助才可能被奖励,但不允许灌水,必须填写15个字符以上)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 一志愿A区211,22408 321求调剂 +7 随心所欲☆ 2026-04-15 8/400 2026-04-21 08:22 by Equinoxhua
[考研] 295分求调剂 +6 ?要上岸? 2026-04-17 6/300 2026-04-21 08:18 by Equinoxhua
[考研] 一志愿中科大材料与化工,353分还有调剂学校吗 +11 否极泰来2026 2026-04-15 13/650 2026-04-20 22:31 by Equinoxhua
[考研] 085600材料与化工调剂 5+3 孜孜不倦2002 2026-04-19 6/300 2026-04-20 21:25 by babero
[考研] 320求调剂 +6 深郊akm 2026-04-17 6/300 2026-04-20 18:57 by fs26jie
[论文投稿] 期刊推荐 +3 材料研究生 2026-04-15 5/250 2026-04-20 16:02 by 豆豆7758
[教师之家] 又一批高校组建人工智能学院 师资行吗 不是骗人吗 +4 yexuqing 2026-04-19 4/200 2026-04-20 14:47 by brantleo
[考博] 申博/考博 +4 啃面包的小书虫 2026-04-17 5/250 2026-04-20 10:47 by YuY66
[考博] 湖南大学刘巧玲课题组2026年第二批次博士研究生招生信息 +3 南风观火 2026-04-18 5/250 2026-04-20 10:13 by 南风观火
[考研] 求计算机方向调剂 +3 Toffee2 2026-04-16 6/300 2026-04-19 22:37 by ll叶
[考研] 通信工程求调剂!!! +7 zlb770521 2026-04-14 7/350 2026-04-19 20:56 by Equinoxhua
[考研] 297,工科调剂? +11 河南农业大学-能 2026-04-14 11/550 2026-04-19 20:07 by Equinoxhua
[考研] 294求调剂 +8 淡然654321 2026-04-17 9/450 2026-04-19 19:51 by Equinoxhua
[考研] 291求调剂 +11 关忆北. 2026-04-14 11/550 2026-04-19 17:16 by 中豫男
[考研] 304求调剂 +8 castLight 2026-04-16 8/400 2026-04-19 17:14 by 中豫男
[考研] 求调剂推荐 +9 小聂爱学习 2026-04-14 9/450 2026-04-19 17:03 by 中豫男
[考研] 291求调剂 +12 关忆北. 2026-04-14 13/650 2026-04-19 16:50 by 中豫男
[考研] 322求调剂 +6 tekuzu 2026-04-17 6/300 2026-04-17 13:48 by Espannnnnol
[考研] 一志愿沪9,生物学326求调剂 +9 刘墨墨 2026-04-15 9/450 2026-04-16 17:14 by 崔崔崔cccc
[考研] 药学求调剂 +14 喽哈加油 2026-04-14 16/800 2026-04-16 10:15 by beilsong20
信息提示
请填处理意见