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单晶硅湿法刻蚀线宽 已有3人参与
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| 请教：用2um正胶光刻出0.5mm的圆图形，湿法刻蚀硅纳米线，图形内刻不出来，发白或发黄，正常是黑色的，圆形尺寸1mm以上同样的工艺可以刻出来。是 光刻胶太厚了？怎么选择光刻胶，还是刻蚀方法不对？ |
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