应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 单晶硅湿法刻蚀线宽
81/1返回列表
查看: 1644  |  回复: 7
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
【悬赏金币】回答本帖问题，作者wyc将赠送您 5 个金币

wyc

铜虫 (小有名气)

[求助] 单晶硅湿法刻蚀线宽 已有3人参与

请教：用2um正胶光刻出0.5mm的圆图形，湿法刻蚀硅纳米线，图形内刻不出来，发白或发黄，正常是黑色的，圆形尺寸1mm以上同样的工艺可以刻出来。是   光刻胶太厚了？怎么选择光刻胶，还是刻蚀方法不对？
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
1楼 2021-01-22 17:44:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

babyoflion

金虫 (著名写手)
说实话我没看明白

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
2楼2021-01-22 19:34:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wyc

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by babyoflion at 2021-01-22 19:34:06
说实话我没看明白

就是一般用金属辅助刻蚀硅纳米线，普通的没有pattern图形的硅片或者有大尺寸图形（刻蚀暴露部分）的可以刻蚀出来，刻蚀部分面积越小越难刻
单晶硅湿法刻蚀线宽
无标题.jpg
赞一下 回复此楼
3楼2021-01-22 21:53:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

babyoflion

金虫 (著名写手)
为什么反复提到硅纳米线啊，0.5MM那么大也叫纳米线嘛

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
4楼2021-01-23 11:16:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

逐步成长

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

可以用干法直接刻蚀的啊，刻蚀深度大概多深呢
赞一下 回复此楼
5楼2021-01-27 14:19:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

酸菜鱼jie

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

wyc
6楼2021-02-05 08:59:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wyc

铜虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
6楼: Originally posted by 酸菜鱼jie at 2021-02-05 08:59:58
干法刻蚀不考虑么？掩膜不应该选择光刻胶

不选择光刻胶，选择什么？’
赞一下 回复此楼
7楼2021-02-08 11:28:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

一个人类

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

一般来说，硅片刻蚀后表面的颜色和微结构有关，制备出纳米线通常是黑色（限光的原因），如果不是纳米线而是一些小结构，则会呈现出黄色/白色，想问下LZ是用的什么湿法刻蚀手段？按道理图案化区域曝光出来以后，不会对刻蚀有影响，应该是刻蚀方法的问题。
赞一下 回复此楼
8楼2021-02-28 12:06:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 wyc 的主题更新
81/1返回列表
不应助 确定回帖应助 (注意：应助才可能被奖励，但不允许灌水，必须填写15个字符以上)
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考博] 澳大利亚 Murdoch University 全奖博士招生（3个名额）地质化工冶金领域 +73 AI8RaGaPaSCR 2026-08-07 76/3800 2026-08-14 08:45 by IUa8yhHGR7hP
[基金申请] 咱们一起用铁证分析2026国家社科基金中标与否 +3 启萌科技 2026-08-12 11/550 2026-08-13 22:57 by 启萌科技
[基金申请] 小木虫上这么多卖论文的，真有人买论文么？感觉没必要啊 +9 Tide man 2026-08-10 10/500 2026-08-13 20:33 by 温淼淼淼
[基金申请] 静等基金结果 +8 gjjjzhong 2026-08-10 21/1050 2026-08-13 17:56 by 且听虎啸
[基金申请] filecode +14 documentary 2026-08-10 16/800 2026-08-13 16:39 by 润生71
[基金申请] 重要来源：本周末出结果 +10 瞬息宇宙 2026-08-12 10/500 2026-08-13 15:46 by likettle
[基金申请] 不应该看fileCode +7 且听虎啸 2026-08-12 9/450 2026-08-13 14:27 by flydreamws
[基金申请] Filecode 又变了，巨变 +3 WH3796 2026-08-12 4/200 2026-08-13 14:13 by 小木虫6752397
[基金申请] 分享一下我之前已中青C的计划书的filecode +4 布布和一二 2026-08-11 5/250 2026-08-13 12:56 by cratir
[基金申请] 结合人工智能，周易传统文化，filecode打分制来了，3分以上希望很大。 +3 Tide man 2026-08-12 4/200 2026-08-13 08:35 by ZJTJZ
[基金申请] 应该是93bebmhtak前后十一个字符比较关键 +22 Lanmanbaby 2026-08-09 36/1800 2026-08-12 22:50 by sdfapple719
[基金申请] 综述论文作为代表作会不会影响评审专家的印象分？ +11 yufeiwaner 2026-08-09 13/650 2026-08-12 08:17 by yufeiwaner
[基金申请] 帮忙看看fileCode +7 wwncly 2026-08-10 13/650 2026-08-11 19:36 by 冰心玉壶晴
[基金申请] 确定了，国自然21号放榜 +6 布布和一二 2026-08-10 7/350 2026-08-10 19:15 by 2000zf36392
[基金申请] 据悉今年马上要出结果了 +7 瞬息宇宙 2026-08-10 8/400 2026-08-10 12:42 by Vivilian
[基金申请] 这样的filecode谁见过 +11 布布和一二 2026-08-08 22/1100 2026-08-10 11:10 by wmfsnow
[基金申请] 面上项目filecode邪修 +5 西山十月 2026-08-09 7/350 2026-08-10 07:32 by 仁砚薪传
[基金申请] filecode与中标关系的预测 +5 布布和一二 2026-08-07 5/250 2026-08-09 16:15 by 袁向阳007
[基金申请] 关于filecode，很负责任的告诉大家 +6 爱看书的可乐 2026-08-08 7/350 2026-08-08 22:13 by a_niu
[基金申请] filecode变化情况 +6 布布和一二 2026-08-07 22/1100 2026-08-07 14:45 by 且听虎啸
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭