应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 单晶硅湿法刻蚀线宽
81/1返回列表
查看: 1629  |  回复: 7
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
【悬赏金币】回答本帖问题，作者wyc将赠送您 5 个金币

wyc

铜虫 (小有名气)

[求助] 单晶硅湿法刻蚀线宽 已有3人参与

请教：用2um正胶光刻出0.5mm的圆图形，湿法刻蚀硅纳米线，图形内刻不出来，发白或发黄，正常是黑色的，圆形尺寸1mm以上同样的工艺可以刻出来。是   光刻胶太厚了？怎么选择光刻胶，还是刻蚀方法不对？
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
1楼 2021-01-22 17:44:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

babyoflion

金虫 (著名写手)
说实话我没看明白

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
2楼2021-01-22 19:34:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wyc

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by babyoflion at 2021-01-22 19:34:06
说实话我没看明白

就是一般用金属辅助刻蚀硅纳米线，普通的没有pattern图形的硅片或者有大尺寸图形（刻蚀暴露部分）的可以刻蚀出来，刻蚀部分面积越小越难刻
单晶硅湿法刻蚀线宽
无标题.jpg
赞一下 回复此楼
3楼2021-01-22 21:53:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

babyoflion

金虫 (著名写手)
为什么反复提到硅纳米线啊，0.5MM那么大也叫纳米线嘛

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
4楼2021-01-23 11:16:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

逐步成长

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

可以用干法直接刻蚀的啊，刻蚀深度大概多深呢
赞一下 回复此楼
5楼2021-01-27 14:19:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

酸菜鱼jie

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

wyc
6楼2021-02-05 08:59:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wyc

铜虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
6楼: Originally posted by 酸菜鱼jie at 2021-02-05 08:59:58
干法刻蚀不考虑么？掩膜不应该选择光刻胶

不选择光刻胶，选择什么？’
赞一下 回复此楼
7楼2021-02-08 11:28:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

一个人类

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

一般来说，硅片刻蚀后表面的颜色和微结构有关，制备出纳米线通常是黑色（限光的原因），如果不是纳米线而是一些小结构，则会呈现出黄色/白色，想问下LZ是用的什么湿法刻蚀手段？按道理图案化区域曝光出来以后，不会对刻蚀有影响，应该是刻蚀方法的问题。
赞一下 回复此楼
8楼2021-02-28 12:06:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 wyc 的主题更新
81/1返回列表
不应助 确定回帖应助 (注意：应助才可能被奖励，但不允许灌水，必须填写15个字符以上)
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 KXLV3nuBVBY7 2026-08-07 3/150 2026-08-08 03:27 by 6vVgjDL4CnGu
[基金申请] 关于filecode +4 布布和一二 2026-08-07 7/350 2026-08-07 22:55 by zhanghaozhu
[基金申请] 娱乐 +6 Tide man 2026-08-03 6/300 2026-08-07 22:40 by 铁帽子农民
[基金申请] 化学口download_prp&fileCode的固定段好像这几天一直没变，有变的大神么？ +3 Tide man 2026-08-07 4/200 2026-08-07 22:39 by Tide man
[基金申请] 关于代码变化问题，想知道的进来 +9 且听虎啸 2026-08-07 12/600 2026-08-07 21:53 by 理想三旬2025
[基金申请] 固定端突然变了，今天 +6 archvillain 2026-08-06 10/500 2026-08-07 16:03 by 医学老男孩
[基金申请] filecode与中标关系的预测 +3 布布和一二 2026-08-07 3/150 2026-08-07 15:09 by gltch
[基金申请] filecode变化情况 +6 布布和一二 2026-08-07 22/1100 2026-08-07 14:45 by 且听虎啸
[论文投稿] 十年后又回来了，论文投稿求助 +4 哈哈114477 2026-08-01 4/200 2026-08-07 14:39 by jgy194592
[基金申请] 大家散了吧，后缀研究没有意义，别浪费时间了，过好目前的每一天，不要焦虑 +5 Tide man 2026-08-06 7/350 2026-08-07 13:11 by 医学老男孩
[基金申请] 关于豆爷回答的JTJC与%2F数量 +4 yang182083 2026-08-06 6/300 2026-08-07 12:43 by 虫友是什么虫
[基金申请] filecode +14 等待解的谜 2026-08-06 19/950 2026-08-07 12:20 by wlwhappy
[基金申请] filecode +8 布布和一二 2026-08-06 11/550 2026-08-06 20:41 by tangpu318
[基金申请] 求各位大神看下 100+6 hpkpkpkp 2026-08-05 33/1650 2026-08-06 14:49 by zhiyanjiang
[基金申请] 好消息？这个有何含义？？？ +8 Tide man 2026-08-05 10/500 2026-08-05 16:14 by xmuxiaoyu
[考博] 【2027博士申请】纳米药物递送方向 20+3 13586093586 2026-08-03 4/200 2026-08-05 09:59 by lfy8008
[基金申请] 有没有H口的？有收到消息的吗？ +3 超级海虾 2026-08-04 3/150 2026-08-04 17:26 by 学教育滴
[基金申请] 纯娱乐，不喜欢勿喷 +7 Tide man 2026-08-04 10/500 2026-08-04 15:10 by loufangrui
[基金申请] 面上提前没消息，有中的吗 +14 archvillain 2026-08-02 18/900 2026-08-04 14:42 by archvillain
[基金申请] 什么时候能放榜呀？ +3 Jacob678 2026-08-03 3/150 2026-08-03 16:14 by gltch
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭