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磁控溅射的疑惑 已有5人参与
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| 如题,采用磁控溅射,靶材如果是高纯石墨,得到的薄膜为无定型碳结构,和靶材结构差异性很大,但靶材如果是ITO靶,也就是氧化铟锡靶,得到的薄膜却与靶材结构近似,这是不是因为氩粒子的轰击过程,破坏了石墨的原子结构,那如果是这样的,溅射ITO的过程,为什么不会破坏ITO的结构。 |
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磁控溅射镀膜工艺 |
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