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磁控溅射的疑惑 已有5人参与
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| 如题，采用磁控溅射，靶材如果是高纯石墨，得到的薄膜为无定型碳结构，和靶材结构差异性很大，但靶材如果是ITO靶，也就是氧化铟锡靶，得到的薄膜却与靶材结构近似，这是不是因为氩粒子的轰击过程，破坏了石墨的原子结构，那如果是这样的，溅射ITO的过程，为什么不会破坏ITO的结构。 |
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 磁控溅射镀膜工艺 |
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