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xxy2016

新虫 (小有名气)

[交流] 磁控溅射镀Si薄膜

请问有磁控溅射镀过Si薄膜的大神吗？可能交流下测试参数呀，
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1楼 2020-06-24 13:34:18
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光子张

铁虫 (初入文坛)
★
xxy2016(金币+1): 谢谢参与
Si薄膜好镀吗  用直流靶吗
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8楼2022-03-25 10:35:41
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gbs022308

禁言 (著名写手)
★
xxy2016(金币+1): 谢谢参与
本帖内容被屏蔽
2楼2020-06-24 13:45:43
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xxy2016

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by gbs022308 at 2020-06-24 13:45:43
上海复旦复达检测  我这边可以做 看我个人信息

磁控溅射镀Si薄膜，可以交流下镀膜参数吗？
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5楼2020-06-26 13:17:08
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bluegenes

银虫 (小有名气)
★
xxy2016(金币+1): 谢谢参与
直流溅射，应该很容易啊，5mTorr，50W
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9楼2022-03-29 23:16:20
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longwave3楼
2020-06-24 15:01   回复  
xxy2016(金币+1): 谢谢参与
祝福 发自小木虫Android客户端
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