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xxy2016

新虫 (小有名气)


[交流] 磁控溅射镀Si薄膜

请问有磁控溅射镀过Si薄膜的大神吗?可能交流下测试参数呀,
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gbs022308

禁言 (著名写手)


xxy2016(金币+1): 谢谢参与
本帖内容被屏蔽

2楼2020-06-24 13:45:43
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xxy2016

新虫 (小有名气)


引用回帖:
2楼: Originally posted by gbs022308 at 2020-06-24 13:45:43
上海复旦复达检测  我这边可以做 看我个人信息

磁控溅射镀Si薄膜,可以交流下镀膜参数吗?
5楼2020-06-26 13:17:08
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光子张

铁虫 (初入文坛)



xxy2016(金币+1): 谢谢参与
Si薄膜好镀吗  用直流靶吗
8楼2022-03-25 10:35:41
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bluegenes

银虫 (小有名气)



xxy2016(金币+1): 谢谢参与
直流溅射,应该很容易啊,5mTorr,50W
9楼2022-03-29 23:16:20
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简单回复
longwave3楼
2020-06-24 15:01   回复  
xxy2016(金币+1): 谢谢参与
祝福 发自小木虫Android客户端
tzynew4楼
2020-06-24 22:17   回复  
xxy2016(金币+1): 谢谢参与
nono20096楼
2020-06-27 08:21   回复  
xxy2016(金币+1): 谢谢参与
`
2020-06-29 15:28   回复  
xxy2016(金币+1): 谢谢参与
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