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磁控溅射镀Si薄膜
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xxy2016
新虫
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帖子: 91
在线: 393.6小时
虫号: 4487351
[交流]
磁控溅射镀Si薄膜
请问有磁控溅射镀过Si薄膜的大神吗?可能交流下测试参数呀,
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1楼
2020-06-24 13:34:18
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xxy2016
新虫
(小有名气)
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(幼儿园)
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在线: 393.6小时
虫号: 4487351
引用回帖:
2楼
:
Originally posted by
gbs022308
at 2020-06-24 13:45:43
上海复旦复达检测 我这边可以做 看我个人信息
磁控溅射镀Si薄膜,可以交流下镀膜参数吗?
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5楼
2020-06-26 13:17:08
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gbs022308
禁言
(著名写手)
★
xxy2016(金币+1): 谢谢参与
本帖内容被屏蔽
2楼
2020-06-24 13:45:43
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光子张
铁虫
(初入文坛)
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(幼儿园)
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虫号: 27205443
★
xxy2016(金币+1): 谢谢参与
Si薄膜好镀吗 用直流靶吗
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8楼
2022-03-25 10:35:41
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bluegenes
银虫
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(幼儿园)
金币: 188
帖子: 155
在线: 149.7小时
虫号: 1293290
★
xxy2016(金币+1): 谢谢参与
直流溅射,应该很容易啊,5mTorr,50W
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9楼
2022-03-29 23:16:20
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longwave
3楼
2020-06-24 15:01
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xxy2016(金币+1): 谢谢参与
祝福
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