应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 微纳结构刻蚀侧壁粗糙度问题
81/1返回列表
查看: 1799  |  回复: 7
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

分子级筛子

新虫 (小有名气)

[交流] 微纳结构刻蚀侧壁粗糙度问题 已有4人参与

硅基玻璃用氢氟酸多次刻蚀，侧壁上会有明显的刻蚀条纹，用化学生长法处理过，效果很烂。哪里出了问题？还有什么方法能处理微结构表面（尤其是侧面）？

发自小木虫Android客户端
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2020-03-29 13:37:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zuopeng142

铁虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
什么结构呢?为什么要多次蚀刻，得讲明白才能分析啊

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
2楼2020-03-29 23:35:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

分子级筛子

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by zuopeng142 at 2020-03-29 23:35:37
什么结构呢?为什么要多次蚀刻，得讲明白才能分析啊

10*100微米的长方形沟槽（硼硅玻璃），刻蚀100微米深，发现配好的刻蚀溶液会腐蚀侧壁，一次刻不出来，就改成多次刻蚀，就是刻蚀5微米深，清洗干净，做了侧壁保护（PMMA光刻胶），再继续刻蚀，结果侧壁腐蚀减轻，已经达到能接受的程度，这个方法太麻烦了。想问问有没有只向下腐蚀，不向两侧壁腐蚀的方法。或者其他加工方法？

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
3楼2020-03-31 23:33:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zuopeng142

铁虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by 分子级筛子 at 2020-03-31 23:33:13
10*100微米的长方形沟槽（硼硅玻璃），刻蚀100微米深，发现配好的刻蚀溶液会腐蚀侧壁，一次刻不出来，就改成多次刻蚀，就是刻蚀5微米深，清洗干净，做了侧壁保护（PMMA光刻胶），再继续刻蚀，结果侧壁腐蚀减轻，已 ...

湿法来各项异性腐蚀很难，试试干法或者激光

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
4楼2020-04-02 09:50:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

liupan66

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
如果宽度比较大的话可以试试激光

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
赞一下 回复此楼
5楼2020-04-05 21:07:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
supernatural: 金币-2, 违规存档, 专家，不要再帖子里宣传公司了！ 2020-05-22 10:18:55
引用回帖:
3楼: originally posted by 分子级筛子 at 2020-03-31 23:33:13
10*100微米的长方形沟槽（硼硅玻璃），刻蚀100微米深，发现配好的刻蚀溶液会腐蚀侧壁，一次刻不出来，就改成多次刻蚀，就是刻蚀5微米深，清洗干净，做了侧壁保护（pmma光刻胶），再继续刻蚀，结果侧壁腐蚀减轻，已 ...

硼硅玻璃做不出你要的这种结构的，干法刻蚀不行，刻蚀深度达不到，激光也不行，太窄了。
换成硅的话，就比较容易做了。如果需要流道透明，可以先做阳极键合，把硅和玻璃键合在一起，再减薄硅到100um，再刻蚀硅的流道，就得到你想要的结构了。
赞一下 回复此楼
6楼2020-04-07 16:21:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

智慧之路

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
试试金属辅助化学刻蚀

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
7楼2020-04-07 20:52:00
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zuopeng142

铁虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
6楼: Originally posted by yswyx at 2020-04-07 16:21:07
硼硅玻璃做不出你要的这种结构的，干法刻蚀不行，刻蚀深度达不到，激光也不行，太窄了。
换成硅的话，就比较容易做了。如果需要流道透明，可以先做阳极键合，把硅和玻璃键合在一起，再减薄硅到100um，再刻蚀硅的流 ...

干法蚀刻是可以的，就是对设备和掩膜有要求。苏纳的NLD570这种机型可以刻这么深，就是不知道他们的配置对不对

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
8楼2020-04-08 11:27:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 分子级筛子 的主题更新
81/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 328求调剂，英语六级551，有科研经历 +3 生物工程调剂 2026-03-16 10/500 2026-03-18 20:41 by Wangjingyue
[考研] 286求调剂 +6 lemonzzn 2026-03-16 9/450 2026-03-18 15:31 by vgtyfty
[考研] 311求调剂 +6 26研0 2026-03-15 6/300 2026-03-18 14:43 by haxia
[考研] 0817 化学工程 299分求调剂 有科研经历 有二区文章 +7 rare12345 2026-03-18 7/350 2026-03-18 14:31 by laoshidan
[考研] 303求调剂 +4 睿08 2026-03-17 6/300 2026-03-18 11:01 by Iveryant
[考研] 326求调剂 +5 上岸的小葡 2026-03-15 6/300 2026-03-17 17:26 by ruiyingmiao
[考研] 考研化学学硕调剂，一志愿985 +4 张vvvv 2026-03-15 6/300 2026-03-17 17:15 by ruiyingmiao
[考研] 085601求调剂 +4 Du.11 2026-03-16 4/200 2026-03-17 17:08 by ruiyingmiao
[考研] 11408 一志愿西电，277分求调剂 +3 zhouzhen654 2026-03-16 3/150 2026-03-17 07:03 by laoshidan
[考研] 机械专硕325，寻找调剂院校 +3 y9999 2026-03-15 5/250 2026-03-16 19:58 by y9999
[考研] 0703化学调剂 290分有科研经历，论文在投 +7 腻腻gk 2026-03-14 7/350 2026-03-16 10:12 by houyaoxu
[考研] 085601材料工程315分求调剂 +3 yang_0104 2026-03-15 3/150 2026-03-15 10:58 by peike
[考研] 328求调剂 +3 5201314Lsy！ 2026-03-13 6/300 2026-03-14 15:31 by hyswxzs
[考研] 一志愿哈工大材料324分求调剂 +5 闫旭东 2026-03-14 5/250 2026-03-14 14:53 by 木瓜膏
[考研] 308 085701 四六级已过求调剂 +7 温乔乔乔乔 2026-03-12 14/700 2026-03-14 10:49 by JourneyLucky
[考研] 330求调剂 +3 ?酱给调剂跪了 2026-03-13 3/150 2026-03-14 10:13 by JourneyLucky
[考研] 求材料调剂 085600英一数二总分302 前三科235 精通机器学习 一志愿哈工大 +4 林yaxin 2026-03-12 4/200 2026-03-13 22:04 by 星空星月
[考研] 工科278分求调剂 +5 周慢热啊 2026-03-12 7/350 2026-03-13 15:49 by JourneyLucky
[考研] 328化工专硕求调剂 +4 。，。，。，。i 2026-03-12 4/200 2026-03-13 14:44 by JourneyLucky
[考研] 0817化学工程与技术考研312分调剂 +3 T123 tt 2026-03-12 3/150 2026-03-13 10:49 by houyaoxu
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭