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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 微纳结构刻蚀侧壁粗糙度问题
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分子级筛子

新虫 (小有名气)

[交流] 微纳结构刻蚀侧壁粗糙度问题 已有4人参与

硅基玻璃用氢氟酸多次刻蚀，侧壁上会有明显的刻蚀条纹，用化学生长法处理过，效果很烂。哪里出了问题？还有什么方法能处理微结构表面（尤其是侧面）？

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1楼 2020-03-29 13:37:21
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zuopeng142

铁虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
什么结构呢?为什么要多次蚀刻，得讲明白才能分析啊

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2楼2020-03-29 23:35:37
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分子级筛子

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by zuopeng142 at 2020-03-29 23:35:37
什么结构呢?为什么要多次蚀刻，得讲明白才能分析啊

10*100微米的长方形沟槽（硼硅玻璃），刻蚀100微米深，发现配好的刻蚀溶液会腐蚀侧壁，一次刻不出来，就改成多次刻蚀，就是刻蚀5微米深，清洗干净，做了侧壁保护（PMMA光刻胶），再继续刻蚀，结果侧壁腐蚀减轻，已经达到能接受的程度，这个方法太麻烦了。想问问有没有只向下腐蚀，不向两侧壁腐蚀的方法。或者其他加工方法？

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3楼2020-03-31 23:33:13
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zuopeng142

铁虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by 分子级筛子 at 2020-03-31 23:33:13
10*100微米的长方形沟槽（硼硅玻璃），刻蚀100微米深，发现配好的刻蚀溶液会腐蚀侧壁，一次刻不出来，就改成多次刻蚀，就是刻蚀5微米深，清洗干净，做了侧壁保护（PMMA光刻胶），再继续刻蚀，结果侧壁腐蚀减轻，已 ...

湿法来各项异性腐蚀很难，试试干法或者激光

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4楼2020-04-02 09:50:31
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liupan66

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
如果宽度比较大的话可以试试激光

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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5楼2020-04-05 21:07:37
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
supernatural: 金币-2, 违规存档, 专家，不要再帖子里宣传公司了！ 2020-05-22 10:18:55
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3楼: originally posted by 分子级筛子 at 2020-03-31 23:33:13
10*100微米的长方形沟槽（硼硅玻璃），刻蚀100微米深，发现配好的刻蚀溶液会腐蚀侧壁，一次刻不出来，就改成多次刻蚀，就是刻蚀5微米深，清洗干净，做了侧壁保护（pmma光刻胶），再继续刻蚀，结果侧壁腐蚀减轻，已 ...

硼硅玻璃做不出你要的这种结构的，干法刻蚀不行，刻蚀深度达不到，激光也不行，太窄了。
换成硅的话，就比较容易做了。如果需要流道透明，可以先做阳极键合，把硅和玻璃键合在一起，再减薄硅到100um，再刻蚀硅的流道，就得到你想要的结构了。
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6楼2020-04-07 16:21:07
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智慧之路

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
试试金属辅助化学刻蚀

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7楼2020-04-07 20:52:00
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zuopeng142

铁虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
6楼: Originally posted by yswyx at 2020-04-07 16:21:07
硼硅玻璃做不出你要的这种结构的，干法刻蚀不行，刻蚀深度达不到，激光也不行，太窄了。
换成硅的话，就比较容易做了。如果需要流道透明，可以先做阳极键合，把硅和玻璃键合在一起，再减薄硅到100um，再刻蚀硅的流 ...

干法蚀刻是可以的，就是对设备和掩膜有要求。苏纳的NLD570这种机型可以刻这么深，就是不知道他们的配置对不对

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8楼2020-04-08 11:27:33
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