| 查看: 2112 | 回复: 7 | |||
分子级筛子新虫 (小有名气)
|
[交流]
微纳结构刻蚀侧壁粗糙度问题 已有4人参与
|
|
硅基玻璃用氢氟酸多次刻蚀，侧壁上会有明显的刻蚀条纹，用化学生长法处理过，效果很烂。哪里出了问题？还有什么方法能处理微结构表面（尤其是侧面）？ 发自小木虫Android客户端 |
回复此楼» 猜你喜欢
材料化学专业sci转让 qq 1946569001
已经有0人回复
-
材料化学专业sci转让 qq 1946569001
已经有0人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有189人回复
zuopeng142
铁虫 (小有名气)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 909.8
- 红花: 1
- 帖子: 210
- 在线: 19.4小时
- 虫号: 1173829
- 注册: 2010-12-20
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
2楼2020-03-29 23:35:37
分子级筛子
新虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 240.2
- 散金: 40
- 帖子: 88
- 在线: 3.6小时
- 虫号: 21592110
- 注册: 2020-03-24
- 性别: GG
- 专业: 高分子组装与超分子结构
|
10*100微米的长方形沟槽（硼硅玻璃），刻蚀100微米深，发现配好的刻蚀溶液会腐蚀侧壁，一次刻不出来，就改成多次刻蚀，就是刻蚀5微米深，清洗干净，做了侧壁保护（PMMA光刻胶），再继续刻蚀，结果侧壁腐蚀减轻，已经达到能接受的程度，这个方法太麻烦了。想问问有没有只向下腐蚀，不向两侧壁腐蚀的方法。或者其他加工方法？ 发自小木虫Android客户端 |
3楼2020-03-31 23:33:13
zuopeng142
铁虫 (小有名气)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 909.8
- 红花: 1
- 帖子: 210
- 在线: 19.4小时
- 虫号: 1173829
- 注册: 2010-12-20
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
4楼2020-04-02 09:50:31
liupan66
新虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 151.8
- 帖子: 49
- 在线: 10.9小时
- 虫号: 12933820
- 注册: 2018-11-23
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
5楼2020-04-05 21:07:37
yswyx 
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.9
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
6楼2020-04-07 16:21:07
7楼2020-04-07 20:52:00
zuopeng142
铁虫 (小有名气)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 909.8
- 红花: 1
- 帖子: 210
- 在线: 19.4小时
- 虫号: 1173829
- 注册: 2010-12-20
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
8楼2020-04-08 11:27:33
40