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分子级筛子

新虫 (小有名气)

[交流] 微纳结构刻蚀侧壁粗糙度问题已有4人参与

硅基玻璃用氢氟酸多次刻蚀,侧壁上会有明显的刻蚀条纹,用化学生长法处理过,效果很烂。哪里出了问题?还有什么方法能处理微结构表面(尤其是侧面)?

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liupan66

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
如果宽度比较大的话可以试试激光

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5楼2020-04-05 21:07:37
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