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分子级筛子

新虫 (小有名气)

[交流] 微纳结构刻蚀侧壁粗糙度问题已有4人参与

硅基玻璃用氢氟酸多次刻蚀,侧壁上会有明显的刻蚀条纹,用化学生长法处理过,效果很烂。哪里出了问题?还有什么方法能处理微结构表面(尤其是侧面)?

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yswyx

专家顾问 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
supernatural: 金币-2, 违规存档, 专家,不要再帖子里宣传公司了! 2020-05-22 10:18:55
引用回帖:
3楼: originally posted by 分子级筛子 at 2020-03-31 23:33:13
10*100微米的长方形沟槽(硼硅玻璃),刻蚀100微米深,发现配好的刻蚀溶液会腐蚀侧壁,一次刻不出来,就改成多次刻蚀,就是刻蚀5微米深,清洗干净,做了侧壁保护(pmma光刻胶),再继续刻蚀,结果侧壁腐蚀减轻,已 ...

硼硅玻璃做不出你要的这种结构的,干法刻蚀不行,刻蚀深度达不到,激光也不行,太窄了。
换成硅的话,就比较容易做了。如果需要流道透明,可以先做阳极键合,把硅和玻璃键合在一起,再减薄硅到100um,再刻蚀硅的流道,就得到你想要的结构了。
6楼2020-04-07 16:21:07
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