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分子级筛子新虫 (小有名气)
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[交流]
微纳结构刻蚀侧壁粗糙度问题 已有4人参与
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硅基玻璃用氢氟酸多次刻蚀，侧壁上会有明显的刻蚀条纹，用化学生长法处理过，效果很烂。哪里出了问题？还有什么方法能处理微结构表面（尤其是侧面）？ 发自小木虫Android客户端 |
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yswyx 
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6楼2020-04-07 16:21:07
zuopeng142
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2楼2020-03-29 23:35:37
分子级筛子
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10*100微米的长方形沟槽（硼硅玻璃），刻蚀100微米深，发现配好的刻蚀溶液会腐蚀侧壁，一次刻不出来，就改成多次刻蚀，就是刻蚀5微米深，清洗干净，做了侧壁保护（PMMA光刻胶），再继续刻蚀，结果侧壁腐蚀减轻，已经达到能接受的程度，这个方法太麻烦了。想问问有没有只向下腐蚀，不向两侧壁腐蚀的方法。或者其他加工方法？ 发自小木虫Android客户端 |
3楼2020-03-31 23:33:13
zuopeng142
铁虫 (小有名气)
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4楼2020-04-02 09:50:31
100