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请教一下Si片清洗相关问题 已有1人参与
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本人是在硅片上长一层二氧化硅,用BOE清洗后发现随着清洗次数的增长,再长的SiO2折射率会越来越大,是不是因为硅片表面被BOE腐蚀变性导致的,有什么方法能解决这个问题呢,不想过一段时间就换硅片,又麻烦成本又高 |
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zuopeng142
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