应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 请教一下Si片清洗相关问题
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
61/1返回列表
查看: 1634  |  回复: 5
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

ForJN

铁虫 (初入文坛)

[求助] 请教一下Si片清洗相关问题 已有1人参与

本人是在硅片上长一层二氧化硅，用BOE清洗后发现随着清洗次数的增长，再长的SiO2折射率会越来越大，是不是因为硅片表面被BOE腐蚀变性导致的，有什么方法能解决这个问题呢，不想过一段时间就换硅片，又麻烦成本又高
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2020-01-06 11:11:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
反复氧化和腐蚀会导致粗糙度增加，不知道你长SiO的方法是什么，热氧还是PECVD，或者溅射？粗糙度对氧化硅的形成也不应该有什么影响的。或者是原生氧化层的影响？？
折射率测量是用椭偏仪吗？按理说用椭偏不会受粗糙度影响。
建议直接换硅片，其实BOE腐蚀和后学清洗的费用，和硅片的钱比起来，还不一定哪个贵呢。建议找研材微纳。一般同批次的硅片不会有什么差异，多买点儿也没多少钱。
赞一下(1人) 回复此楼
2楼2020-01-07 17:54:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ForJN

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2020-01-07 17:54:08
反复氧化和腐蚀会导致粗糙度增加，不知道你长SiO的方法是什么，热氧还是PECVD，或者溅射？粗糙度对氧化硅的形成也不应该有什么影响的。或者是原生氧化层的影响？？
折射率测量是用椭偏仪吗？按理说用椭偏不会受粗糙 ...

是用PECVD长的，SiH4+N2O；
测试是用F20测试的，就是清洗多次后用F20测出来的折射率会明显飘掉，越来越高；
买新硅片是可以买啦，目前就是想看看有什么方式可以不换Si片稳定测膜厚和折射率
赞一下 回复此楼
3楼2020-01-08 16:12:56
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by ForJN at 2020-01-08 16:12:56
是用PECVD长的，SiH4+N2O；
测试是用F20测试的，就是清洗多次后用F20测出来的折射率会明显飘掉，越来越高；
买新硅片是可以买啦，目前就是想看看有什么方式可以不换Si片稳定测膜厚和折射率...

我不知道什么是F20，查了一下这个不是椭偏，是一种反射式的膜厚测量仪，有点儿类似白光干涉。
这种膜厚测量仪是不能作为折射率测量的标准的，所以建议你找个椭偏，把你之前做好的片子再测一遍。
因为白光干涉是会受到粗糙度的影响的，你还可以测一下你每次腐蚀后，片子的粗糙度，找个AFM测。
你的片子是研材微纳买的吗？像这种现象，很可能你一开始的片子粗糙度就有问题，应该直接先找研材技术部门询问。
赞一下 回复此楼
4楼2020-01-08 16:41:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Nano2016

新虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2020-01-07 17:54:08
反复氧化和腐蚀会导致粗糙度增加，不知道你长SiO的方法是什么，热氧还是PECVD，或者溅射？粗糙度对氧化硅的形成也不应该有什么影响的。或者是原生氧化层的影响？？
折射率测量是用椭偏仪吗？按理说用椭偏不会受粗糙 ...

PECVD 稳定性如何？SiO的厚度多大？这些都很重要。

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
5楼2020-03-10 18:50:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zuopeng142

铁虫 (小有名气)
F20测折射率是不准的，他的原理是干涉，只有厚度是测得准的，估计是粗糙度增加导致的，换椭偏试试吧

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
6楼2020-03-10 21:03:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 ForJN 的主题更新
61/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 274求调剂 +5 薛定谔的虎。 2026-04-01 5/250 2026-04-02 05:58 by pies112
[考研] 271求调剂 +14 勒布朗@ 2026-03-31 19/950 2026-04-02 00:01 by 勒布朗@
[考研] 292分，材料与化工，申请调剂 +18 程晴之 2026-04-01 20/1000 2026-04-01 23:01 by 来看流星雨10
[考研] 311求调剂 +13 zchqwer 2026-04-01 15/750 2026-04-01 22:30 by 2026材料调剂
[考研] 085602化学工程268分蹲调剂 +8 月照花林。 2026-04-01 8/400 2026-04-01 22:08 by 无际的草原
[考研] 材料调剂 +14 一样YWY 2026-04-01 14/700 2026-04-01 21:07 by lijunpoly
[考研] 285求调剂 +5 FZAC123 2026-03-30 5/250 2026-04-01 15:50 by 韩雨涵
[考研] 材料调剂 +11 一样YWY 2026-03-31 11/550 2026-04-01 11:35 by wangjy2002
[考研] 求调剂，一志愿 南京航空航天大学 ，080500材料科学与工程学硕，总分289分 +10 @taotao 2026-03-29 10/500 2026-04-01 09:30 by oooqiao
[考研] 各位老师好，我的一志愿为北京科技大学085601材料专硕 +12 Koxui 2026-03-28 12/600 2026-03-31 23:17 by wwytracy
[考研] 材料工程专硕求调剂 +10 hyl3153942 2026-03-29 10/500 2026-03-31 16:31 by hypershenger
[考研] 求调剂 +8 11ggg 2026-03-30 8/400 2026-03-31 13:56 by nanaliuyun
[考研] 调剂求院校招收 +7 鹤鲸鸽 2026-03-28 7/350 2026-03-31 11:21 by oooqiao
[考研] 262求调剂 +7 ZZ..000 2026-03-30 8/400 2026-03-31 10:05 by cal0306
[考研] 083000学硕274求调剂 +12 Li李鱼 2026-03-26 12/600 2026-03-31 10:01 by cal0306
[考研] 323分 食品与营养调剂 +3 嘿ooo 2026-03-31 3/150 2026-03-31 09:38 by longlotian
[考研] 342求调剂 +4 加油a李zs 2026-03-26 4/200 2026-03-30 16:39 by 晶体之美
[考研] 340求调剂 +6 Amber00 2026-03-26 6/300 2026-03-29 12:06 by 无际的草原
[考研] 085405 考的11408求各位老师带走 +3 Qiu学ing 2026-03-28 3/150 2026-03-28 09:19 by 乐呵呵的追梦人
[考研] 330一志愿中国海洋大学 化学工程 085602 有读博意愿 求调剂 +3 wywy.. 2026-03-27 4/200 2026-03-28 03:32 by fmesaito
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭