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铁虫 (初入文坛)

[求助] 请教一下Si片清洗相关问题已有1人参与

本人是在硅片上长一层二氧化硅,用BOE清洗后发现随着清洗次数的增长,再长的SiO2折射率会越来越大,是不是因为硅片表面被BOE腐蚀变性导致的,有什么方法能解决这个问题呢,不想过一段时间就换硅片,又麻烦成本又高
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铁虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2020-01-07 17:54:08
反复氧化和腐蚀会导致粗糙度增加,不知道你长SiO的方法是什么,热氧还是PECVD,或者溅射?粗糙度对氧化硅的形成也不应该有什么影响的。或者是原生氧化层的影响??
折射率测量是用椭偏仪吗?按理说用椭偏不会受粗糙 ...

是用PECVD长的,SiH4+N2O;
测试是用F20测试的,就是清洗多次后用F20测出来的折射率会明显飘掉,越来越高;
买新硅片是可以买啦,目前就是想看看有什么方式可以不换Si片稳定测膜厚和折射率
3楼2020-01-08 16:12:56
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