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Zhao.cf

新虫 (正式写手)


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磁控溅射
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最近买了一个镍靶(99.99%),可是磁控溅射一直无法启辉,而且发现镍靶跟底座的吸引力很大,有没有人知道是什么原因呀?

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bobo201266

金虫 (正式写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
吸力大是正常的,起辉不行就加大点气压试试。

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27楼2019-10-12 17:58:57
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bobo201266

金虫 (正式写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
30楼: Originally posted by Zhao.cf at 2019-10-12 18:15:37
试过加大,到了10Pa以上才能启辉,但是最后发现没有镀层
...

平均自由程短,没速率了。应该问题不大,再调下菜单试试。

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74楼2019-10-12 21:41:55
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bobo201266

金虫 (正式写手)


引用回帖:
75楼: Originally posted by Zhao.cf at 2019-10-12 22:31:47
能不能指导一下具体调什么参数比较有效呢?是气体流量?还是靶材功率或者偏压呢?
...

功率和工艺气体压力

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76楼2019-10-13 17:42:22
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bobo20126626楼
2019-10-12 17:57   回复  
Zhao.cf(金币+2): 谢谢参与
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