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Zhao.cf

新虫 (正式写手)
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磁控溅射
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最近买了一个镍靶（99.99%），可是磁控溅射一直无法启辉，而且发现镍靶跟底座的吸引力很大，有没有人知道是什么原因呀？

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1楼 2019-10-12 16:49:30
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091820053

禁虫 (知名作家)
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17楼2019-10-12 17:23:03
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bobo201266

金虫 (正式写手)
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
吸力大是正常的，起辉不行就加大点气压试试。

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27楼2019-10-12 17:58:57
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Zhao.cf

新虫 (正式写手)
引用回帖:
27楼: Originally posted by bobo201266 at 2019-10-12 17:58:57
吸力大是正常的，起辉不行就加大点气压试试。

试过加大，到了10Pa以上才能启辉，但是最后发现没有镀层

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30楼2019-10-12 18:15:37
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bobo201266

金虫 (正式写手)
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
30楼: Originally posted by Zhao.cf at 2019-10-12 18:15:37
试过加大，到了10Pa以上才能启辉，但是最后发现没有镀层
...

平均自由程短，没速率了。应该问题不大，再调下菜单试试。

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74楼2019-10-12 21:41:55
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Zhao.cf

新虫 (正式写手)
引用回帖:
74楼: Originally posted by bobo201266 at 2019-10-12 21:41:55
平均自由程短，没速率了。应该问题不大，再调下菜单试试。
...

能不能指导一下具体调什么参数比较有效呢？是气体流量？还是靶材功率或者偏压呢？

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75楼2019-10-12 22:31:47
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bobo201266

金虫 (正式写手)
引用回帖:
75楼: Originally posted by Zhao.cf at 2019-10-12 22:31:47
能不能指导一下具体调什么参数比较有效呢？是气体流量？还是靶材功率或者偏压呢？
...

功率和工艺气体压力

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76楼2019-10-13 17:42:22
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匿名


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小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
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77楼2019-10-15 00:00:31
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yl@hx2019

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
镍必须用强磁靶，背面磁场强，同时镍也有一定的磁性，所以引力很大，正常的。

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78楼2019-11-04 11:46:15
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17楼: Originally posted by 091820053 at 2019-10-12 17:23:03 镍靶厚度多少

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