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Zhao.cf

新虫 (正式写手)


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最近买了一个镍靶(99.99%),可是磁控溅射一直无法启辉,而且发现镍靶跟底座的吸引力很大,有没有人知道是什么原因呀?

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Zhao.cf

新虫 (正式写手)


引用回帖:
74楼: Originally posted by bobo201266 at 2019-10-12 21:41:55
平均自由程短,没速率了。应该问题不大,再调下菜单试试。
...

能不能指导一下具体调什么参数比较有效呢?是气体流量?还是靶材功率或者偏压呢?

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75楼2019-10-12 22:31:47
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2019-10-12 16:50   回复  
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zfpd27663楼
2019-10-12 17:00   回复  
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fyy4525786楼
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xjyzyf9楼
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qinqd13楼
2019-10-12 17:12   回复  
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