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Zhao.cf

新虫 (正式写手)


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最近买了一个镍靶(99.99%),可是磁控溅射一直无法启辉,而且发现镍靶跟底座的吸引力很大,有没有人知道是什么原因呀?

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bobo201266

金虫 (正式写手)


引用回帖:
75楼: Originally posted by Zhao.cf at 2019-10-12 22:31:47
能不能指导一下具体调什么参数比较有效呢?是气体流量?还是靶材功率或者偏压呢?
...

功率和工艺气体压力

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76楼2019-10-13 17:42:22
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2019-10-12 16:50   回复  
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zfpd27663楼
2019-10-12 17:00   回复  
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fyy4525786楼
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xjyzyf9楼
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qinqd13楼
2019-10-12 17:12   回复  
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