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请问有推荐给刚入门磁控溅射薄膜的人的书吗~
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norph_jost
新虫
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[交流]
请问有推荐给刚入门磁控溅射薄膜的人的书吗~
刚刚入门磁控溅射薄膜,大概想在金属基上沉积点陶瓷膜,但是感觉有很多基础知识还不太懂~
想问问各位大佬,有没有推荐的书,或者综述什么的,可以提升一下基础知识
比如磁控溅射原理,薄膜生长之类的基础理论的讲解那种
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2019-08-23 17:24:42
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Dean丶Yu
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2楼
2019-08-23 18:40:41
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北京中晟材料
新虫
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norph_jost(金币+1): 谢谢参与
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2019-08-24 10:44:44
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kevin123581
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norph_jost(金币+1): 谢谢参与
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2楼
:
Originally posted by
Dean丶Yu
at 2019-08-23 18:40:41
我研究方向也是这个
您好,能请教下磁控的几个基础问题么?
比如磁控溅射能否同时溅射两种不同的靶材料? 两种材料的溅射速率(或者参数)是否能独立控制? 还有溅射速率在沉积过程中能否改变,比如让材料在10min溅射速率匀速上升之类的? 谢谢
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4楼
2019-08-26 10:13:39
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miaojiabing
5楼
2019-08-26 10:15
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nono2009
6楼
2019-08-27 13:37
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Genifer
7楼
2019-08-27 16:37
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梦の国度
8楼
2019-08-28 15:44
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tzynew
9楼
2019-08-28 19:09
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小小小超哥
10楼
2019-11-04 07:15
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北京中晟材料
11楼
2019-11-04 12:43
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norph_jost(金币+1): 谢谢参与
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