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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 科研生活 » 请问有推荐给刚入门磁控溅射薄膜的人的书吗~
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norph_jost

新虫 (初入文坛)

[交流] 请问有推荐给刚入门磁控溅射薄膜的人的书吗~

刚刚入门磁控溅射薄膜，大概想在金属基上沉积点陶瓷膜，但是感觉有很多基础知识还不太懂~
想问问各位大佬，有没有推荐的书，或者综述什么的，可以提升一下基础知识
比如磁控溅射原理，薄膜生长之类的基础理论的讲解那种
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1楼 2019-08-23 17:24:42
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Dean丶Yu

铜虫 (正式写手)
★
norph_jost(金币+1): 谢谢参与
我研究方向也是这个

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2楼2019-08-23 18:40:41
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北京中晟材料

新虫 (正式写手)
★
norph_jost(金币+1): 谢谢参与
真空镀膜
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3楼2019-08-24 10:44:44
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kevin123581

金虫 (正式写手)
★
norph_jost(金币+1): 谢谢参与
引用回帖:
2楼: Originally posted by Dean丶Yu at 2019-08-23 18:40:41
我研究方向也是这个

您好，能请教下磁控的几个基础问题么？
比如磁控溅射能否同时溅射两种不同的靶材料？    两种材料的溅射速率（或者参数）是否能独立控制？  还有溅射速率在沉积过程中能否改变，比如让材料在10min溅射速率匀速上升之类的？   谢谢
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4楼2019-08-26 10:13:39
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miaojiabing5楼
2019-08-26 10:15   回复  
norph_jost(金币+1): 谢谢参与
nono20096楼
2019-08-27 13:37   回复  
norph_jost(金币+1): 谢谢参与
·
Genifer7楼
2019-08-27 16:37   回复  
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梦の国度8楼
2019-08-28 15:44   回复  
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tzynew9楼
2019-08-28 19:09   回复  
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小小小超哥10楼
2019-11-04 07:15   回复  
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北京中晟材料11楼
2019-11-04 12:43   回复  
norph_jost(金币+1): 谢谢参与
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