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norph_jost

新虫 (初入文坛)


[交流] 请问有推荐给刚入门磁控溅射薄膜的人的书吗~

刚刚入门磁控溅射薄膜,大概想在金属基上沉积点陶瓷膜,但是感觉有很多基础知识还不太懂~
想问问各位大佬,有没有推荐的书,或者综述什么的,可以提升一下基础知识
比如磁控溅射原理,薄膜生长之类的基础理论的讲解那种
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Dean丶Yu

铜虫 (正式写手)



norph_jost(金币+1): 谢谢参与
我研究方向也是这个

发自小木虫IOS客户端
2楼2019-08-23 18:40:41
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北京中晟材料

新虫 (正式写手)



norph_jost(金币+1): 谢谢参与
真空镀膜
3楼2019-08-24 10:44:44
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kevin123581

金虫 (正式写手)



norph_jost(金币+1): 谢谢参与
引用回帖:
2楼: Originally posted by Dean丶Yu at 2019-08-23 18:40:41
我研究方向也是这个

您好,能请教下磁控的几个基础问题么?
比如磁控溅射能否同时溅射两种不同的靶材料?    两种材料的溅射速率(或者参数)是否能独立控制?  还有溅射速率在沉积过程中能否改变,比如让材料在10min溅射速率匀速上升之类的?   谢谢
4楼2019-08-26 10:13:39
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简单回复
2019-08-26 10:15   回复  
norph_jost(金币+1): 谢谢参与
nono20096楼
2019-08-27 13:37   回复  
norph_jost(金币+1): 谢谢参与
·
Genifer7楼
2019-08-27 16:37   回复  
norph_jost(金币+1): 谢谢参与
2019-08-28 15:44   回复  
norph_jost(金币+1): 谢谢参与
tzynew9楼
2019-08-28 19:09   回复  
norph_jost(金币+1): 谢谢参与
2019-11-04 07:15   回复  
norph_jost(金币+1): 谢谢参与
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2019-11-04 12:43   回复  
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