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请问有推荐给刚入门磁控溅射薄膜的人的书吗~
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刚刚入门磁控溅射薄膜,大概想在金属基上沉积点陶瓷膜,但是感觉有很多基础知识还不太懂~ 想问问各位大佬,有没有推荐的书,或者综述什么的,可以提升一下基础知识 比如磁控溅射原理,薄膜生长之类的基础理论的讲解那种 |
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北京中晟材料11楼
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