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hi?t?zju

新虫 (初入文坛)

[交流] 磁控溅射时间与厚度有什么关系吗

请问各位朋友,射频磁控溅射镀电介质薄膜时,薄膜厚度与溅射时间有什么关系呢?会不会有一个极限厚度 再往后就镀不下去了?甚至变薄?这背后的原因是什么呢?还是说只要镀膜时间无限长 薄膜就能无限厚?

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理工小伟

木虫 (著名写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
靶材不中毒不耗尽会无限增厚,但过厚会导致薄膜应力增大而脱落

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精于勤 荒于嬉
6楼2019-07-15 17:51:26
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tangtang0427

木虫 (正式写手)

君子和而不同


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
只要靶材没有中毒或者耗尽,理论上可以无限增厚
自强不息,厚德载物!
2楼2019-04-23 10:37:25
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dazuihou12

新虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
这影响因素应该很多吧。你溅射的温度,压强,功率,会不会温度压强功率过高,在溅射的过程中能量太高冲坏已经镀好的一层?会流失掉一些,所以厚度可能不会一直变厚

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3楼2019-05-04 13:58:10
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459769617

金虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
这个没实验过,一般我们镀最多不超过2h

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让绝对无敌的传说能永远不会被打破,必须要战斗!!!
4楼2019-05-08 23:49:16
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