| 查看: 1396 | 回复: 5 | |||
[交流]
磁控溅射时间与厚度有什么关系吗
|
|
请问各位朋友，射频磁控溅射镀电介质薄膜时，薄膜厚度与溅射时间有什么关系呢？会不会有一个极限厚度 再往后就镀不下去了？甚至变薄？这背后的原因是什么呢？还是说只要镀膜时间无限长 薄膜就能无限厚？ 发自小木虫IOS客户端 |
回复此楼» 猜你喜欢
求助CaO-Al2O3-Y2O3三元相图
已经有1人回复
-
有没有接收比较快的sci期刊呀，最好在一个月之内的，研三孩子求毕业
已经有7人回复
-
冶金与矿业论文润色/翻译怎么收费?
已经有75人回复
-
博导推荐
已经有22人回复
-
新加坡南洋理工大学NTU诚招电池相关方向博后
已经有24人回复
-
关于BiFeO3基流延问题
已经有2人回复
-
800摄氏度下薄膜电导率测量
已经有2人回复
-
九水硝酸铁作为碳前驱体石墨化催化剂的制备求助
已经有0人回复
-
碳材料在水中无法分散，如何在不改性的情况下使其在水中均匀分散
已经有2人回复
-
国防科技大学空天科学学院招聘启事陶瓷基复合材料方向科研助理招聘
已经有12人回复
-
文件夹闪关闭
已经有0人回复
tangtang0427
木虫 (正式写手)
君子和而不同
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 2208.6
- 散金: 34
- 红花: 1
- 帖子: 404
- 在线: 34小时
- 虫号: 1002994
- 注册: 2010-04-22
- 性别: GG
- 专业: 等离子体物理
2楼2019-04-23 10:37:25
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
|
这影响因素应该很多吧。你溅射的温度，压强，功率，会不会温度压强功率过高，在溅射的过程中能量太高冲坏已经镀好的一层?会流失掉一些，所以厚度可能不会一直变厚 发自小木虫Android客户端 |
3楼2019-05-04 13:58:10
4楼2019-05-08 23:49:16
星河崔丽佳
铁杆木虫 (文坛精英)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 17344.2
- 散金: 1405
- 红花: 8
- 帖子: 10950
- 在线: 129.1小时
- 虫号: 2547021
- 注册: 2013-07-15
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
5楼2019-05-18 07:33:45
理工小伟
木虫 (著名写手)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 3470.2
- 红花: 2
- 帖子: 1119
- 在线: 50.5小时
- 虫号: 7468855
- 注册: 2017-11-14
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
6楼2019-07-15 17:51:26
