| 查看: 1393 | 回复: 5 | |||
[交流]
磁控溅射时间与厚度有什么关系吗
|
|
请问各位朋友，射频磁控溅射镀电介质薄膜时，薄膜厚度与溅射时间有什么关系呢？会不会有一个极限厚度 再往后就镀不下去了？甚至变薄？这背后的原因是什么呢？还是说只要镀膜时间无限长 薄膜就能无限厚？ 发自小木虫IOS客户端 |
回复此楼» 猜你喜欢
气敏文章投稿期刊求助
已经有3人回复
-
碲化铋热挤出裂纹
已经有2人回复
-
无机非金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有264人回复
-
今年的上海市自然科学基金取消了吗？
已经有3人回复
-
《大尺寸单晶铜定向凝固技术》—— 王自东、吴春京（北科大团队专著）书籍求助
已经有0人回复
-
论文《提拉法生长铜单晶与铜单晶衬底制备研究》求助
已经有0人回复
-
咨询 27 热电材料方向申博
已经有2人回复
-
吉布斯自用能变、平衡常数、活度/分压计算
已经有7人回复
-
关于高温真空制备氧化亚硅（SiOx、SiO）的技术交流。
已经有0人回复
-
重磅分享｜全链路AI材料研发闭环平台PULSE即将发布，重构新材料研发范式
已经有42人回复
tangtang0427
木虫 (正式写手)
君子和而不同
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 2208.6
- 散金: 34
- 红花: 1
- 帖子: 404
- 在线: 34小时
- 虫号: 1002994
- 注册: 2010-04-22
- 性别: GG
- 专业: 等离子体物理
2楼2019-04-23 10:37:25
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
|
这影响因素应该很多吧。你溅射的温度，压强，功率，会不会温度压强功率过高，在溅射的过程中能量太高冲坏已经镀好的一层?会流失掉一些，所以厚度可能不会一直变厚 发自小木虫Android客户端 |
3楼2019-05-04 13:58:10
4楼2019-05-08 23:49:16
星河崔丽佳
铁杆木虫 (文坛精英)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 17344.2
- 散金: 1405
- 红花: 8
- 帖子: 10950
- 在线: 129.1小时
- 虫号: 2547021
- 注册: 2013-07-15
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
5楼2019-05-18 07:33:45
理工小伟
木虫 (著名写手)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 3470.2
- 红花: 2
- 帖子: 1119
- 在线: 50.5小时
- 虫号: 7468855
- 注册: 2017-11-14
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
6楼2019-07-15 17:51:26
