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材料综合
磁控溅射时间与厚度有什么关系吗
请问各位朋友，射频
磁控溅射
镀电介质薄膜时，薄膜
厚度与溅射时间有什么关系
呢？会不会有一个极限
厚度
再往后就镀不下去了？甚至变薄？这背后的原因是什么呢？还是说只要镀膜时间无限长薄膜就...
hi?t?zju
2019-04-22 02:58
微米和纳米
纳米W多层膜的GIXRD表征分析求助，各位大神帮帮忙吧
采用射频
磁控溅射
的方法在Si衬底上交替镀制氧化铝膜/钨膜，镀氧化铝膜采用氧化铝陶瓷靶，镀钨膜采用金属钨...（3）4号样品各氧化铝层
与
钨层
厚度
均约3nm左右，峰的变化
与
膜层
厚度
太薄
有关系吗
？...
小鸠鸠
2018-12-24 02:31
