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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 磁控溅射时间与厚度有什么关系吗
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hi?t?zju

新虫 (初入文坛)

[交流] 磁控溅射时间与厚度有什么关系吗

请问各位朋友，射频磁控溅射镀电介质薄膜时，薄膜厚度与溅射时间有什么关系呢？会不会有一个极限厚度 再往后就镀不下去了？甚至变薄？这背后的原因是什么呢？还是说只要镀膜时间无限长 薄膜就能无限厚？

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1楼 2019-04-22 22:02:58
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tangtang0427

木虫 (正式写手)

君子和而不同
★
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只要靶材没有中毒或者耗尽，理论上可以无限增厚
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自强不息，厚德载物！
2楼2019-04-23 10:37:25
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dazuihou12

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
这影响因素应该很多吧。你溅射的温度，压强，功率，会不会温度压强功率过高，在溅射的过程中能量太高冲坏已经镀好的一层?会流失掉一些，所以厚度可能不会一直变厚

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3楼2019-05-04 13:58:10
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459769617

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
这个没实验过，一般我们镀最多不超过2h

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让绝对无敌的传说能永远不会被打破，必须要战斗！！！
4楼2019-05-08 23:49:16
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星河崔丽佳

铁杆木虫 (文坛精英)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
问的问题这么不专业

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星河虫
5楼2019-05-18 07:33:45
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理工小伟

木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
靶材不中毒不耗尽会无限增厚，但过厚会导致薄膜应力增大而脱落

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精于勤 荒于嬉
6楼2019-07-15 17:51:26
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