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磁控溅射时间与厚度有什么关系吗
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请问各位朋友，射频磁控溅射镀电介质薄膜时，薄膜厚度与溅射时间有什么关系呢？会不会有一个极限厚度 再往后就镀不下去了？甚至变薄？这背后的原因是什么呢？还是说只要镀膜时间无限长 薄膜就能无限厚？ 发自小木虫IOS客户端 |
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这影响因素应该很多吧。你溅射的温度，压强，功率，会不会温度压强功率过高，在溅射的过程中能量太高冲坏已经镀好的一层?会流失掉一些，所以厚度可能不会一直变厚 发自小木虫Android客户端 |
3楼2019-05-04 13:58:10
tangtang0427
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