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磁控溅射样品的内应力消除问题
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请问：利用磁控溅射得到的样品中会产生内应力，有什么方法可以有效的消除掉？ 希望得到详细的解决方法及方案。对象：CoFeB |
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 磁控溅射镀膜工艺 |
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