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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 膜技术 » 磁控溅射样品的内应力消除问题
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枫叶初红

捐助贵宾 (初入文坛)

[交流] 磁控溅射样品的内应力消除问题

请问：利用磁控溅射得到的样品中会产生内应力，有什么方法可以有效的消除掉？
希望得到详细的解决方法及方案。对象：CoFeB
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1楼2019-03-22 10:40:41
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Dr_WuGH

金虫 (正式写手)
退火

发自小木虫IOS客户端
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11楼2019-05-24 11:05:14
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