应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 膜技术 » 磁控溅射样品的内应力消除问题
111/1返回列表
查看: 2026  |  回复: 10
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

枫叶初红

捐助贵宾 (初入文坛)

[交流] 磁控溅射样品的内应力消除问题

请问：利用磁控溅射得到的样品中会产生内应力，有什么方法可以有效的消除掉？
希望得到详细的解决方法及方案。对象：CoFeB
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

磁控溅射镀膜工艺

» 猜你喜欢
1楼 2019-03-22 10:40:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

野人禾禾

金虫 (正式写手)
★
枫叶初红(金币+2): 谢谢参与
首先得确定工艺内应力的来源。
是工艺过程中引入的，还是本身材料结构在重组成过程中形成的。
工艺引入的可以通过改进阴极设计，调整温升温降曲线，增加离子源等方式降低；如果是材料结构本身，可能需要引入新元素来降低应力。
赞一下(1人) 回复此楼
6楼2019-03-25 09:43:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

林交流

无虫 (小有名气)
★
枫叶初红(金币+2): 谢谢参与
首先得确定工艺内应力的来源。
是工艺过程中引入的，还是本身材料结构在重组成过程中形成的。
工艺引入的可以通过改进阴极设计，调整温升温降曲线，增加离子源等方式降低；如果是材料结构本身，可能需要引入新元素来降低应力。
赞一下 回复此楼
7楼2019-03-25 13:29:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

子曾经日过

铜虫 (小有名气)
是ITO镀膜吗？
回复此楼
10楼2019-04-07 11:56:15
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Dr_WuGH

金虫 (正式写手)
退火

发自小木虫IOS客户端
回复此楼
11楼2019-05-24 11:05:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
简单回复
nono20092楼
2019-03-24 09:44   回复  
枫叶初红(金币+2): 谢谢参与
dongmings3楼
2019-03-24 10:06   回复  
枫叶初红(金币+2): 谢谢参与
发自小木虫IOS客户端
Biotage4楼
2019-03-25 08:04   回复  
枫叶初红(金币+2): 谢谢参与
sz_kebaoyuan5楼
2019-03-25 08:11   回复  
枫叶初红(金币+2): 谢谢参与
tzynew8楼
2019-03-28 11:58   回复  
枫叶初红(金币+2): 谢谢参与
keithley软件9楼
2019-04-07 11:13   回复  
枫叶初红(金币+1): 谢谢参与
发自小木虫Android客户端
相关版块跳转 我要订阅楼主 枫叶初红 的主题更新
111/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[教师之家] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 X5bHxOULxFqb 2026-10-30 14/700 2026-11-01 11:33 by Equinoxhua
[公派出国] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +4 1uaZt2kAZj2S 2026-10-31 5/250 2026-11-01 11:18 by Equinoxhua
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 hKe7U1kad5Sg 2026-10-31 5/250 2026-11-01 11:14 by BCdvBAEpt3zm
[基金申请] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +3 hKe7U1kad5Sg 2026-10-31 6/300 2026-11-01 11:09 by BCdvBAEpt3zm
[考研] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +4 xvJS1BYDxvBS 2026-10-31 9/450 2026-11-01 10:56 by BCdvBAEpt3zm
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +4 xvJS1BYDxvBS 2026-10-31 9/450 2026-11-01 10:53 by BCdvBAEpt3zm
[博后之家] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +4 1uaZt2kAZj2S 2026-10-31 7/350 2026-11-01 10:48 by BCdvBAEpt3zm
[基金申请] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 1uaZt2kAZj2S 2026-10-30 14/700 2026-11-01 10:43 by BCdvBAEpt3zm
[论文投稿] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +5 X5bHxOULxFqb 2026-10-30 26/1300 2026-11-01 10:22 by BCdvBAEpt3zm
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +3 X5bHxOULxFqb 2026-10-30 17/850 2026-11-01 06:48 by YXM1FDCSE8Bn
[基金申请] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 X5bHxOULxFqb 2026-10-30 21/1050 2026-11-01 06:46 by YXM1FDCSE8Bn
[基金申请] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 xvJS1BYDxvBS 2026-10-31 8/400 2026-11-01 05:48 by YXM1FDCSE8Bn
[找工作] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 1uaZt2kAZj2S 2026-10-31 6/300 2026-11-01 05:41 by YXM1FDCSE8Bn
[公派出国] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 1uaZt2kAZj2S 2026-10-31 6/300 2026-11-01 05:41 by YXM1FDCSE8Bn
[基金申请] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 1uaZt2kAZj2S 2026-10-31 3/150 2026-11-01 04:04 by YXM1FDCSE8Bn
[找工作] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +3 1uaZt2kAZj2S 2026-10-31 6/300 2026-11-01 03:56 by YXM1FDCSE8Bn
[基金申请] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 1uaZt2kAZj2S 2026-10-30 10/500 2026-11-01 03:51 by YXM1FDCSE8Bn
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 X5bHxOULxFqb 2026-10-30 12/600 2026-11-01 00:15 by YXM1FDCSE8Bn
[硕博家园] 申博自荐 2篇一区TOP+1篇EI+2公开发明专利 2027博士申请 +3 小小阿光 2026-10-27 3/150 2026-10-29 23:56 by 起风了的快乐
[文学芳草园] 闲聊 +3 myrtle 2026-10-25 6/300 2026-10-29 15:28 by myrtle
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭