应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 膜技术 » 磁控溅射样品的内应力消除问题
111/1返回列表
查看: 1964  |  回复: 10
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

枫叶初红

捐助贵宾 (初入文坛)

[交流] 磁控溅射样品的内应力消除问题

请问：利用磁控溅射得到的样品中会产生内应力，有什么方法可以有效的消除掉？
希望得到详细的解决方法及方案。对象：CoFeB
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

磁控溅射镀膜工艺

» 猜你喜欢

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴
1楼 2019-03-22 10:40:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

野人禾禾

金虫 (正式写手)
★
枫叶初红(金币+2): 谢谢参与
首先得确定工艺内应力的来源。
是工艺过程中引入的，还是本身材料结构在重组成过程中形成的。
工艺引入的可以通过改进阴极设计，调整温升温降曲线，增加离子源等方式降低；如果是材料结构本身，可能需要引入新元素来降低应力。
赞一下(1人) 回复此楼
6楼2019-03-25 09:43:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

林交流

无虫 (小有名气)
★
枫叶初红(金币+2): 谢谢参与
首先得确定工艺内应力的来源。
是工艺过程中引入的，还是本身材料结构在重组成过程中形成的。
工艺引入的可以通过改进阴极设计，调整温升温降曲线，增加离子源等方式降低；如果是材料结构本身，可能需要引入新元素来降低应力。
赞一下 回复此楼
7楼2019-03-25 13:29:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

子曾经日过

铜虫 (小有名气)
是ITO镀膜吗？
回复此楼
10楼2019-04-07 11:56:15
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Dr_WuGH

金虫 (正式写手)
退火

发自小木虫IOS客户端
回复此楼
11楼2019-05-24 11:05:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
简单回复
nono20092楼
2019-03-24 09:44   回复  
枫叶初红(金币+2): 谢谢参与
dongmings3楼
2019-03-24 10:06   回复  
枫叶初红(金币+2): 谢谢参与
发自小木虫IOS客户端
Biotage4楼
2019-03-25 08:04   回复  
枫叶初红(金币+2): 谢谢参与
sz_kebaoyuan5楼
2019-03-25 08:11   回复  
枫叶初红(金币+2): 谢谢参与
tzynew8楼
2019-03-28 11:58   回复  
枫叶初红(金币+2): 谢谢参与
keithley软件9楼
2019-04-07 11:13   回复  
枫叶初红(金币+1): 谢谢参与
发自小木虫Android客户端
相关版块跳转 我要订阅楼主 枫叶初红 的主题更新
111/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭