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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 打算在硅上溅射电极 但是没有Ti和Al吧 各位帮忙参考一下
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科研废柴

新虫 (初入文坛)

[交流] 打算在硅上溅射电极 但是没有Ti和Al吧 各位帮忙参考一下

打算在Si上用Lift-off制作电极。不过实验室只有Au Pt Ni 靶，之前镀的金感觉粘附性不是很好，请问假如用Ni 或者Pt 来做粘附层的话是否会好一些？溅射完之后是否需要退火？
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1楼2018-07-09 10:56:50
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091820053

禁虫 (知名作家)
本帖内容被屏蔽
7楼2018-07-09 11:26:38
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科研废柴

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
7楼: Originally posted by 091820053 at 2018-07-09 11:26:38
用钛做过渡

Ni和Pt不行么。。。

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8楼2018-07-09 13:04:03
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091820053

禁虫 (知名作家)
本帖内容被屏蔽
9楼2018-07-09 13:05:24
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野人禾禾

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
铝靶那是相当便宜的，订做也快，快去买一个呀，省出时间好好做科研。
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10楼2018-07-09 13:26:20
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091820053

禁虫 (知名作家)
本帖内容被屏蔽
11楼2018-07-09 14:01:14
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
Cr Ti都用过，没问题，别的不清楚

发自小木虫Android客户端
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12楼2018-07-10 00:04:15
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dolphindog

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
一般是Ti/Pt体系，Ni可以做粘附层，但是Pt不能。Pt本身就是非活泼金属，不会与Si或者氧化层发生反应，也就无法做粘附层。但是Pt可以和Ti结合，作为阻挡层使用。
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13楼2018-08-22 10:03:03
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tyyjkm2682楼
2018-07-09 11:00   回复  
科研废柴(金币+1): 谢谢参与
exvgjdq593楼
2018-07-09 11:06   回复  
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qgmrkr6674楼
2018-07-09 11:08   回复  
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pkdtdh8745楼
2018-07-09 11:12   回复  
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gxdvmv766楼
2018-07-09 11:15   回复  
科研废柴(金币+1): 谢谢参与
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