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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 打算在硅上溅射电极 但是没有Ti和Al吧 各位帮忙参考一下
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科研废柴

新虫 (初入文坛)

[交流] 打算在硅上溅射电极 但是没有Ti和Al吧 各位帮忙参考一下

打算在Si上用Lift-off制作电极。不过实验室只有Au Pt Ni 靶，之前镀的金感觉粘附性不是很好，请问假如用Ni 或者Pt 来做粘附层的话是否会好一些？溅射完之后是否需要退火？
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1楼 2018-07-09 10:56:50
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dolphindog

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
一般是Ti/Pt体系，Ni可以做粘附层，但是Pt不能。Pt本身就是非活泼金属，不会与Si或者氧化层发生反应，也就无法做粘附层。但是Pt可以和Ti结合，作为阻挡层使用。
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13楼2018-08-22 10:03:03
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091820053

禁虫 (知名作家)
本帖内容被屏蔽
7楼2018-07-09 11:26:38
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科研废柴

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
7楼: Originally posted by 091820053 at 2018-07-09 11:26:38
用钛做过渡

Ni和Pt不行么。。。

发自小木虫Android客户端
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8楼2018-07-09 13:04:03
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091820053

禁虫 (知名作家)
本帖内容被屏蔽
9楼2018-07-09 13:05:24
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