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[交流]
打算在硅上溅射电极 但是没有Ti和Al吧 各位帮忙参考一下
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| 打算在Si上用Lift-off制作电极。不过实验室只有Au Pt Ni 靶，之前镀的金感觉粘附性不是很好，请问假如用Ni 或者Pt 来做粘附层的话是否会好一些？溅射完之后是否需要退火？ |
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 磁控溅射镀膜工艺 |
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