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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 磁控溅射镍钛合金靶材，附着性差的问题
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2015315

新虫 (正式写手)

[求助] 磁控溅射镍钛合金靶材，附着性差的问题 已有3人参与

各位大神，直流溅射近等原子比镍钛合金靶,靶材厚4mm，功率100W，时间30分钟，气压1.5Pa,流量20sccm，但是溅射附着性太差，一抹就掉，是什么原因呢？
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磁控溅射镀膜工艺

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1楼 2017-12-06 09:56:32
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nuaalxn

木虫 (正式写手)

在读研究生
磁控溅射的膜，这应该属于机械结合吧
可能是试样表面粗糙度太低，打磨的时候不用最细的那一号砂纸打磨，应该可以缓解下

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2015315
生命不息，奋斗不止。青年，做工程师吧！青年，读马克思吧！
2楼2017-12-06 12:33:58
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野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
镍钛靶应该不存在影响磁场的问题。
结合力不好常有，但是一抹就掉那就很严重了。想了下可能有以下几个方面
1. 基体是什么？基体清洗过程要完整，一定要除油干燥；
2. 基体沉积过程中有无加温，基体会不会释放气体造成膜层污染；
3. 气压稍稍有点高，你可以试试0.5~1pa的氩气沉积看看。

可交流。
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2015315
擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
3楼2017-12-06 15:24:53
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2015315

新虫 (正式写手)
送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by nuaalxn at 2017-12-06 12:33:58
磁控溅射的膜，这应该属于机械结合吧
可能是试样表面粗糙度太低，打磨的时候不用最细的那一号砂纸打磨，应该可以缓解下

打磨时砂纸最细到1000号，还抛光了。

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4楼2017-12-07 09:01:25
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2015315

新虫 (正式写手)
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引用回帖:
3楼: Originally posted by 野人禾禾 at 2017-12-06 15:24:53
镍钛靶应该不存在影响磁场的问题。
结合力不好常有，但是一抹就掉那就很严重了。想了下可能有以下几个方面
1. 基体是什么？基体清洗过程要完整，一定要除油干燥；
2. 基体沉积过程中有无加温，基体会不会释放气体 ...

基体是tc4,丙酮，酒精清洗过。气压1.5帕，室温溅射，直流。镍有磁性，会不会是这造成的，射频能否试一下呢。

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5楼2017-12-07 09:04:28
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野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
5楼: Originally posted by 2015315 at 2017-12-07 09:04:28
基体是tc4,丙酮，酒精清洗过。气压1.5帕，室温溅射，直流。镍有磁性，会不会是这造成的，射频能否试一下呢。
...

按你说的基片处理，打磨加丙酮清洗，应该没有问题。
纯Ni靶会严重影响磁场，但是我用过NiCr靶就完全没问题，NiTi靶没有用过，但是应该和普通合金靶没有区别。
如果上面判断正确，那么射频也没必要试。
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擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
6楼2017-12-07 09:37:59
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Friend007

银虫 (知名作家)
你描述的现象是薄膜与基片结合力太差 办法就是想办法增加结合力，比如楼上答的，基片保持洁净，或增加过度层

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2015315
7楼2017-12-08 07:02:33
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稀土中间合金

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
首先你这个靶材是熔炼还是粉末冶金的， 熔炼出来的靶材出现这个现象一般是经过多次重熔导致附着力差
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2015315
8楼2017-12-08 14:58:24
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2015315

新虫 (正式写手)
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引用回帖:
7楼: Originally posted by Friend007 at 2017-12-08 07:02:33
你描述的现象是薄膜与基片结合力太差 办法就是想办法增加结合力，比如楼上答的，基片保持洁净，或增加过度层

嗯嗯，谢谢，基片洁净做了，过度层没有，还要再做靶材。

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9楼2017-12-12 12:48:02
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2015315

新虫 (正式写手)
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引用回帖:
8楼: Originally posted by 稀土中间合金 at 2017-12-08 14:58:24
首先你这个靶材是熔炼还是粉末冶金的， 熔炼出来的靶材出现这个现象一般是经过多次重熔导致附着力差

谢谢，这个还没有问靶材商家，如果重熔导致的，有什么办法解决吗，除了换靶。

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10楼2017-12-12 12:49:38
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