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2015315新虫 (正式写手)
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磁控溅射镍钛合金靶材，附着性差的问题已有3人参与
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| 各位大神，直流溅射近等原子比镍钛合金靶,靶材厚4mm，功率100W，时间30分钟，气压1.5Pa,流量20sccm，但是溅射附着性太差，一抹就掉，是什么原因呢？ |
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 磁控溅射镀膜工艺 |
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nuaalxn
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磁控溅射的膜，这应该属于机械结合吧 可能是试样表面粗糙度太低，打磨的时候不用最细的那一号砂纸打磨，应该可以缓解下 发自小木虫Android客户端 |
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2015315
2楼2017-12-06 12:33:58
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你描述的现象是薄膜与基片结合力太差 办法就是想办法增加结合力，比如楼上答的，基片保持洁净，或增加过度层 发自小木虫Android客户端 |
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7楼2017-12-08 07:02:33
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10楼2017-12-12 12:49:38