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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 磁控溅射镍钛合金靶材，附着性差的问题
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2015315

新虫 (正式写手)
尝试了射频，但预溅射一直有白雾，红色光，溅射后基片表面没东西，请问是哪出了问题呢

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11楼2017-12-12 12:51:23
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天空个月亮

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

引用回帖:
10楼: Originally posted by 2015315 at 2017-12-12 12:49:38
谢谢，这个还没有问靶材商家，如果重熔导致的，有什么办法解决吗，除了换靶。
...

是重熔问题的可能性不大。而且镍钛合金 谁会去烧结？

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2015315
12楼2017-12-15 08:22:25
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2015315

新虫 (正式写手)
送红花一朵
引用回帖:
12楼: Originally posted by 天空个月亮 at 2017-12-15 08:22:25
是重熔问题的可能性不大。而且镍钛合金 谁会去烧结？
...

谢谢，可能是什么原因呢，射频一直白雾，功率到300还清晰些，但基体没镀上，都在固定靶材的垫片上。

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13楼2017-12-15 12:38:36
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稀土中间合金

金虫 (著名写手)
引用回帖:
10楼: Originally posted by 2015315 at 2017-12-12 12:49:38
谢谢，这个还没有问靶材商家，如果重熔导致的，有什么办法解决吗，除了换靶。
...

如果不是多次重熔的，那就是毛坯出来没有经过锻打（锻打后的毛坯晶粒变小，附着力会增强），导致晶粒过大，
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2015315
14楼2017-12-28 10:35:51
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2015315

新虫 (正式写手)
送红花一朵
引用回帖:
14楼: Originally posted by 稀土中间合金 at 2017-12-28 10:35:51
如果不是多次重熔的，那就是毛坯出来没有经过锻打（锻打后的毛坯晶粒变小，附着力会增强），导致晶粒过大，...

嗯嗯，谢谢分析

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15楼2017-12-29 18:09:13
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