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溅射靶材为什么要求晶粒细小，什么原理？
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为什么磁控溅射的靶材晶粒尺寸约细小，溅射镀膜厚度越均匀，溅射速率越快？ 晶粒大会有什么影响？ |
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 薄膜制备与特性 |
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3楼2017-10-30 10:03:55
4楼2017-10-30 12:01:32
简单回复
2017-10-30 09:55
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远方的游子6128楼
2017-10-30 13:00
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塞北先生9楼
2017-10-30 13:16
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xhmaohan10楼
2017-10-30 13:40
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苏老师在线12楼
2017-10-30 14:01
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rutcf67613楼
2017-10-30 14:15
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nnyny1514楼
2017-10-30 14:17
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