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溅射靶材为什么要求晶粒细小,什么原理?
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为什么磁控溅射的靶材晶粒尺寸约细小,溅射镀膜厚度越均匀,溅射速率越快? 晶粒大会有什么影响? |
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薄膜制备与特性 |
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16楼2017-11-15 22:51:24
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3楼2017-10-30 10:03:55
4楼2017-10-30 12:01:32
18楼2022-09-16 20:58:25
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2017-10-30 09:55
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2017-10-30 12:20
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nono20096楼
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nono20097楼
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远方的游子6128楼
2017-10-30 13:00
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塞北先生9楼
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xhmaohan10楼
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假大空11楼
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苏老师在线12楼
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rutcf67613楼
2017-10-30 14:15
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nnyny1514楼
2017-10-30 14:17
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sz_kebaoyuan15楼
2017-10-30 22:54
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liusmlw17楼
2017-11-16 05:41
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浅蓝色de19楼
2022-10-14 15:36
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科研材料X20楼
2022-10-14 16:16
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