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乘风去流浪

银虫 (小有名气)


[交流] 溅射靶材为什么要求晶粒细小,什么原理?

为什么磁控溅射的靶材晶粒尺寸约细小,溅射镀膜厚度越均匀,溅射速率越快?
晶粒大会有什么影响?
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chenrch

新虫 (著名写手)



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不同晶粒的取向不同。晶粒越细,取向越多,取向分布越分散,溅射时随机性更强,薄膜厚度就越均匀。

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16楼2017-11-15 22:51:24
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鱼儿辣椒

禁虫 (文坛精英)


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3楼2017-10-30 10:03:55
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QQ2668174903

新虫 (文坛精英)



乘风去流浪(金币+1): 谢谢参与
4楼2017-10-30 12:01:32
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lq19930213

新虫 (小有名气)



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18楼2022-09-16 20:58:25
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2017-10-30 09:55   回复  
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syhorchid5楼
2017-10-30 12:20   回复  
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nono20096楼
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·
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xhmaohan10楼
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假大空11楼
2017-10-30 13:59   回复  
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rutcf67613楼
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nnyny1514楼
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liusmlw17楼
2017-11-16 05:41   回复  
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2022-10-14 15:36   回复  
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