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溅射靶材为什么要求晶粒细小,什么原理?
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乘风去流浪
银虫
(小有名气)
应助: 1
(幼儿园)
金币: 420.4
帖子: 106
在线: 43.9小时
虫号: 2501388
[交流]
溅射靶材为什么要求晶粒细小,什么原理?
为什么磁控溅射的靶材晶粒尺寸约细小,溅射镀膜厚度越均匀,溅射速率越快?
晶粒大会有什么影响?
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1楼
2017-10-30 09:40:17
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QQ2668174903
新虫
(文坛精英)
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(幼儿园)
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帖子: 41072
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4楼
2017-10-30 12:01:32
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鱼儿辣椒
禁虫
(文坛精英)
★
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3楼
2017-10-30 10:03:55
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xsw1EZUOk032
2楼
2017-10-30 09:55
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远方的游子612
8楼
2017-10-30 13:00
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塞北先生
9楼
2017-10-30 13:16
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xhmaohan
10楼
2017-10-30 13:40
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苏老师在线
12楼
2017-10-30 14:01
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rutcf676
13楼
2017-10-30 14:15
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nnyny15
14楼
2017-10-30 14:17
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