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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 溅射靶材为什么要求晶粒细小，什么原理？
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乘风去流浪

银虫 (小有名气)

[交流] 溅射靶材为什么要求晶粒细小，什么原理？

为什么磁控溅射的靶材晶粒尺寸约细小，溅射镀膜厚度越均匀，溅射速率越快？
晶粒大会有什么影响？
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1楼2017-10-30 09:40:17
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chenrch

新虫 (著名写手)
★
乘风去流浪(金币+1): 谢谢参与
不同晶粒的取向不同。晶粒越细，取向越多，取向分布越分散，溅射时随机性更强，薄膜厚度就越均匀。

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16楼2017-11-15 22:51:24
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鱼儿辣椒

禁虫 (文坛精英)
★
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3楼2017-10-30 10:03:55
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QQ2668174903

新虫 (文坛精英)
★
乘风去流浪(金币+1): 谢谢参与
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4楼2017-10-30 12:01:32
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lq19930213

新虫 (小有名气)
★
乘风去流浪(金币+1): 谢谢参与
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18楼2022-09-16 20:58:25
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xsw1EZUOk0322楼
2017-10-30 09:55   回复  
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^_^ 发自小木虫IOS客户端
syhorchid5楼
2017-10-30 12:20   回复  
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nono20096楼
2017-10-30 12:24   回复  
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nono20097楼
2017-10-30 12:24   回复  
·
远方的游子6128楼
2017-10-30 13:00   回复  
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塞北先生9楼
2017-10-30 13:16   回复  
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xhmaohan10楼
2017-10-30 13:40   回复  
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假大空11楼
2017-10-30 13:59   回复  
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苏老师在线12楼
2017-10-30 14:01   回复  
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rutcf67613楼
2017-10-30 14:15   回复  
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nnyny1514楼
2017-10-30 14:17   回复  
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sz_kebaoyuan15楼
2017-10-30 22:54   回复  
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liusmlw17楼
2017-11-16 05:41   回复  
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好 发自小木虫IOS客户端
浅蓝色de19楼
2022-10-14 15:36   回复  
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科研材料X20楼
2022-10-14 16:16   回复  
乘风去流浪(金币+1): 谢谢参与
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