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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 高分子 » 高分子化学 » 使用旋涂法在硅片上涂膜，为什么会有放射状痕迹？
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john3069

铜虫 (小有名气)
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使用旋涂法在硅片上涂膜，为什么会有放射状痕迹？
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旋涂法涂膜，涂完之后薄膜表面有向外的放射状痕迹，说明什么，是片子没有洗干净吗，还是其他原因？
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1楼 2017-06-09 15:09:20
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zjynudt

新虫 (正式写手)
★
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转速呢，不懂啊，猜的，旋转造成的径向流动

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12楼2017-06-09 15:11:24
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i东哥i

金虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
可能是因为转速不够高，放射状痕迹应该不是因为片子没洗干净的缘故，不过有可能是因为片子没有抛光，对样品的分散有阻力
可以参考下https://asa-tech.taobao.com/这家的硅片
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15楼2017-06-13 22:25:24
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john3069

铜虫 (小有名气)
都为金币而来
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14楼2017-06-13 21:39:48
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john3069

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
15楼: Originally posted by i东哥i at 2017-06-13 22:25:24
可能是因为转速不够高，放射状痕迹应该不是因为片子没洗干净的缘故，不过有可能是因为片子没有抛光，对样品的分散有阻力
可以参考下https://asa-tech.taobao.com/这家的硅片

有时候也会遇到圆环状痕迹，或者有点状区域没涂上。圆环状是不是和涂胶机也有关系，可能下面没有放稳造成的。
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16楼2017-06-14 16:38:01
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i东哥i

金虫 (著名写手)
★
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16楼: Originally posted by john3069 at 2017-06-14 16:38:01
有时候也会遇到圆环状痕迹，或者有点状区域没涂上。圆环状是不是和涂胶机也有关系，可能下面没有放稳造成的。...

匀胶机没有放置水平也不会出现环状痕迹呀，你换一批硅片试一下看看还有没有这个现象，如果有的话可以考虑硅片抛光问题
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17楼2017-06-15 23:05:54
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john3069

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
17楼: Originally posted by i东哥i at 2017-06-15 23:05:54
匀胶机没有放置水平也不会出现环状痕迹呀，你换一批硅片试一下看看还有没有这个现象，如果有的话可以考虑硅片抛光问题...

试过很多次，环形痕迹经常会有，另外我用的硅片的确是抛光过的，有抛光面，是否有可能旋转过程中吸力不够或硅片下表面潮湿导致的硅片滑动造成，之前都是将硅片从轻水里取出来后直接放到匀胶机上先甩干，再涂胶
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18楼2017-06-16 08:53:38
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john3069

铜虫 (小有名气)
请问像这种旋涂法的均匀性问题，大家都是怎么解决的啊
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19楼2017-06-21 16:16:36
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zhoujiuren

木虫 (小有名气)
★
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引用回帖:
18楼: Originally posted by john3069 at 2017-06-16 08:53:38
试过很多次，环形痕迹经常会有，另外我用的硅片的确是抛光过的，有抛光面，是否有可能旋转过程中吸力不够或硅片下表面潮湿导致的硅片滑动造成，之前都是将硅片从轻水里取出来后直接放到匀胶机上先甩干，再涂胶...

清洗完毕之后是不是可以考虑烘烤几分钟。
其次，放射点状痕迹我也遇见过。应该是胶里面的杂质或者是镀膜过程中起伏造成的。
放射状痕迹，裸晶片上还没遇到过。
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20楼2017-07-31 15:45:49
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zh8565415

专家顾问 (文坛精英)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
是不是彩虹纹，如果是，请你多关注溶剂。呵呵～～

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21楼2017-07-31 18:43:42
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Tracy1991118

银虫 (小有名气)
你wafer多大的

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22楼2017-10-21 08:17:19
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1164497936

新虫 (小有名气)
★
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引用回帖:
21楼: Originally posted by zh8565415 at 2017-07-31 18:43:42
是不是彩虹纹，如果是，请你多关注溶剂。呵呵～～

大神彩虹纹有什么解决办法么？

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23楼2017-11-02 08:43:34
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在天涯

铁杆木虫 (知名作家)
★
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楼主怎么解决的辐射状条纹问题？谢谢！
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24楼2018-06-22 20:13:08
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柔性电子封装

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
涂抹后，即使高速旋转，取下硅片，涂抹液未干，涂抹液的液体组成成分在硅片表面会呈现出亲硅片或疏硅片的性能，会不会影响其均匀程度

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25楼2018-08-23 04:15:19
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在天涯

铁杆木虫 (知名作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
应该是湿度太大了
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26楼2018-10-06 20:44:28
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weike658

铜虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
还有，你的胶里面有颗粒

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27楼2018-10-18 19:06:09
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万邦翻译2楼
2017-06-09 15:09   回复  
john3069(金币+1): 谢谢参与
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diestars3楼
2017-06-09 15:09   回复  
john3069(金币+1): 谢谢参与
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中研驿站4楼
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john3069(金币+1): 谢谢参与
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张鹏6115楼
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dapeng5206楼
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syx_017楼
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john3069(金币+1): 谢谢参与
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AYGXY2015ZXJ8楼
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john3069(金币+1): 谢谢参与
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山狸猫9楼
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baoluyao10楼
2017-06-09 15:10   回复  
john3069(金币+1): 谢谢参与
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想混科研圈11楼
2017-06-09 15:10   回复  
john3069(金币+1): 谢谢参与
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lance039613楼
2017-06-09 15:12   回复  
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