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使用旋涂法在硅片上涂膜,为什么会有放射状痕迹?
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john3069
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使用旋涂法在硅片上涂膜,为什么会有放射状痕迹?
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旋涂法涂膜,涂完之后薄膜表面有向外的放射状痕迹,说明什么,是片子没有洗干净吗,还是其他原因?
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1楼
2017-06-09 15:09:20
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john3069
铜虫
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请问像这种旋涂法的均匀性问题,大家都是怎么解决的啊
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19楼
2017-06-21 16:16:36
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zjynudt
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
转速呢,不懂啊,猜的,旋转造成的径向流动
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12楼
2017-06-09 15:11:24
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中研驿站
4楼
2017-06-09 15:09
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山狸猫
9楼
2017-06-09 15:10
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baoluyao
10楼
2017-06-09 15:10
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syx_01
7楼
2017-06-09 15:09
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diestars
3楼
2017-06-09 15:09
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dapeng520
6楼
2017-06-09 15:09
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AYGXY2015ZXJ
8楼
2017-06-09 15:09
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john3069(金币+1): 谢谢参与
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lance0396
13楼
2017-06-09 15:12
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万邦翻译
2楼
2017-06-09 15:09
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john3069(金币+1): 谢谢参与
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想混科研圈
11楼
2017-06-09 15:10
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john3069(金币+1): 谢谢参与
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张鹏611
5楼
2017-06-09 15:09
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john3069(金币+1): 谢谢参与
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