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john3069

铜虫 (小有名气)


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使用旋涂法在硅片上涂膜,为什么会有放射状痕迹?
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旋涂法涂膜,涂完之后薄膜表面有向外的放射状痕迹,说明什么,是片子没有洗干净吗,还是其他原因?
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john3069

铜虫 (小有名气)


引用回帖:
15楼: Originally posted by i东哥i at 2017-06-13 22:25:24
可能是因为转速不够高,放射状痕迹应该不是因为片子没洗干净的缘故,不过有可能是因为片子没有抛光,对样品的分散有阻力
可以参考下https://asa-tech.taobao.com/这家的硅片

有时候也会遇到圆环状痕迹,或者有点状区域没涂上。圆环状是不是和涂胶机也有关系,可能下面没有放稳造成的。
16楼2017-06-14 16:38:01
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zjynudt

新虫 (正式写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
转速呢,不懂啊,猜的,旋转造成的径向流动

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12楼2017-06-09 15:11:24
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2017-06-09 15:09   回复  
john3069(金币+1): 谢谢参与
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山狸猫9楼
2017-06-09 15:10   回复  
john3069(金币+1): 谢谢参与
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baoluyao10楼
2017-06-09 15:10   回复  
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syx_017楼
2017-06-09 15:09   回复  
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diestars3楼
2017-06-09 15:09   回复  
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dapeng5206楼
2017-06-09 15:09   回复  
john3069(金币+1): 谢谢参与
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2017-06-09 15:09   回复  
john3069(金币+1): 谢谢参与
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lance039613楼
2017-06-09 15:12   回复  
2017-06-09 15:09   回复  
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2017-06-09 15:10   回复  
john3069(金币+1): 谢谢参与
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张鹏6115楼
2017-06-09 15:09   回复  
john3069(金币+1): 谢谢参与
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