使用旋涂法在硅片上涂膜，为什么会有放射状痕迹？ - 高分子 - 高分子化学 - 小木虫论坛-学术科研互动平台

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john3069

铜虫 (小有名气)

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旋涂法涂膜，涂完之后薄膜表面有向外的放射状痕迹，说明什么，是片子没有洗干净吗，还是其他原因？

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1楼 2017-06-09 15:09:20

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Tracy1991118

银虫 (小有名气)

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你wafer多大的

发自小木虫Android客户端

22楼2017-10-21 08:17:19

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