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小小虫虫5591

铜虫 (小有名气)

[交流] 【求助】问个溅射金膜的问题

大家好,我一直恼于一个问题,我在分析中心做的溅射金膜,溅射了5分钟(I=10mA),样品表面变的好黑,但是对照他们单位给的一个表:10mA下,沉积速率也就是4nm/min,那就是说我的样品上只有20nm厚左右,但是怎么会这么黑呢?还有,他们给别人做SEM时,在这个电流下只做1min,那只有4nm啊,这么薄能好导电吗??

[ Last edited by 小小虫虫5591 on 2009-1-13 at 20:23 ]
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chenfire

木虫 (著名写手)

★ ★
wdwsnnu(金币+2,VIP+0):3x,
引用回帖:
Originally posted by 小小虫虫5591 at 2009-1-14 15:31:
我们这边是铂金啊(Pb),我做溅射金膜不是为了看SEM的,是做器件电极的,必须得厚点,不然接触性不好。

呵呵,先更正一下楼主,Pb是铅,Pt才是铂,你们用的究竟是Pt-Au合金,还是Pt金属啊?

Pt太贵我们用不起,我们溅射器件电极用的只是Au,通常情况下,都要打几百个纳米,你们的溅射台可能是小的那种,我们是大型的溅射设备。

要做好金电极,影响因素很多的,例如金属跟基片间的结合力,(方便压焊机引线),比如黄金跟玻璃基片的结合力就不好,中间必须打缓冲层 如Cr-Au 或Ni Cr-Au,还要达到一定厚度,如军用标准里面的金电极要达到几个um。。。
非淡泊无以明志,非宁静无以致远
11楼2009-01-15 09:18:51
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普通回帖

memser


wdwsnnu(金币+1,VIP+0):3x,谢谢讨论
我用3180溅射过铝和金,但是都比你的厚,一般上千埃。但是电镀金的时候的确遇到过金表面变黑的,因为金在空气中很容易氧化。你溅射的本薄很薄,我觉得可能因为氧化的原因导致表面变黑,猜测而已~~~
2楼2009-01-13 19:31:42
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小小虫虫5591

铜虫 (小有名气)

谢谢楼上的,不过金在空气中不容易氧化吧,不是有句话叫“真金不怕火炼吗?”,不知道纳米金会怎样?还有不知道是不是由于纳米金不反射光的原因。
3楼2009-01-13 21:48:49
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zhangwj

荣誉版主 (职业作家)

小木虫无限续航核潜艇

哈哈~~
你溅射的时候真空多少?气氛是什么?
谢谢支持材料区@小木虫论坛
4楼2009-01-13 22:31:46
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小小虫虫5591

铜虫 (小有名气)

回楼上,我溅射的真空度6Pa,金靶和样品间距是3CM,感觉这个沉积速率太小了吧
5楼2009-01-14 09:08:29
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小小虫虫5591

铜虫 (小有名气)

还有,我想问大家下,怎样把我的金币给帮助我的朋友们,我很想报答的
6楼2009-01-14 09:13:40
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memser

引用回帖:
Originally posted by 小小虫虫5591 at 2009-1-14 09:13:
还有,我想问大家下,怎样把我的金币给帮助我的朋友们,我很想报答的

那你开始得设置下的没关系了,大家都是一起共同学习讨论互相帮助,.欢迎常来.
7楼2009-01-14 10:09:53
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chenfire

木虫 (著名写手)

★ ★ ★
memser(金币+3,VIP+0):学习了,明天我也问下我们那边做溅射的:)
是不是做SEM之前溅射一层导电层啊?
如果溅射的是黄金,不会变黑的,薄的金显红色,
变黑可能是溅射的是金钯合金,含有钯,
我们测试中心用的靶材就是这个,
通常还是称为金,但是溅射出来的颜色是黑色的。

溅射的厚度要看你样品的特性,我们做的无机粉体或者陶瓷,只溅射50秒
非淡泊无以明志,非宁静无以致远
8楼2009-01-14 14:20:11
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小小虫虫5591

铜虫 (小有名气)

我们这边是铂金啊(Pb),我做溅射金膜不是为了看SEM的,是做器件电极的,必须得厚点,不然接触性不好。
9楼2009-01-14 15:31:33
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zhangwj

荣誉版主 (职业作家)

小木虫无限续航核潜艇

★ ★
wdwsnnu(金币+2,VIP+0):3x,谢谢讨论
引用回帖:
Originally posted by 小小虫虫5591 at 2009-1-14 09:08:
回楼上,我溅射的真空度6Pa,金靶和样品间距是3CM,感觉这个沉积速率太小了吧

个人认为,本底真空偏低。
要是感觉沉积速率太小,把电流调大,靶拉近一些。

如楼上的版友讲的,可能还有靶的问题。
为什么你们都用合金靶呢?我们这边用的都是99.99的金靶啊?

你要确定以前成功的实验参数,然后检查这次参数的有无差别。
同一台仪器也可能会有变化,就是重复性不好!
祝你好运!
谢谢支持材料区@小木虫论坛
10楼2009-01-14 16:20:54
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