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【求助】问个溅射金膜的问题
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大家好,我一直恼于一个问题,我在分析中心做的溅射金膜,溅射了5分钟(I=10mA),样品表面变的好黑,但是对照他们单位给的一个表:10mA下,沉积速率也就是4nm/min,那就是说我的样品上只有20nm厚左右,但是怎么会这么黑呢?还有,他们给别人做SEM时,在这个电流下只做1min,那只有4nm啊,这么薄能好导电吗?? [ Last edited by 小小虫虫5591 on 2009-1-13 at 20:23 ] |
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chenfire
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zhangwj
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chenfire
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10楼2009-01-14 16:20:54













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