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chenfire

木虫 (著名写手)

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wdwsnnu(金币+2,VIP+0):3x,
引用回帖:
Originally posted by 小小虫虫5591 at 2009-1-14 15:31:
我们这边是铂金啊(Pb),我做溅射金膜不是为了看SEM的,是做器件电极的,必须得厚点,不然接触性不好。

呵呵,先更正一下楼主,Pb是铅,Pt才是铂,你们用的究竟是Pt-Au合金,还是Pt金属啊?

Pt太贵我们用不起,我们溅射器件电极用的只是Au,通常情况下,都要打几百个纳米,你们的溅射台可能是小的那种,我们是大型的溅射设备。

要做好金电极,影响因素很多的,例如金属跟基片间的结合力,(方便压焊机引线),比如黄金跟玻璃基片的结合力就不好,中间必须打缓冲层 如Cr-Au 或Ni Cr-Au,还要达到一定厚度,如军用标准里面的金电极要达到几个um。。。
非淡泊无以明志,非宁静无以致远
11楼2009-01-15 09:18:51
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li_yw

木虫 (小有名气)

引用回帖:
Originally posted by 小小虫虫5591 at 2009-1-14 15:31:
我们这边是铂金啊(Pb),我做溅射金膜不是为了看SEM的,是做器件电极的,必须得厚点,不然接触性不好。

小溅射台做Pt,真空度不够高的话,Pt会发黑,得到的电极电阻也偏大,建议真空度再提高些试试.
12楼2009-01-16 10:04:05
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