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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 【求助】问个溅射金膜的问题
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chenfire

木虫 (著名写手)
★ ★
wdwsnnu(金币+2,VIP+0):3x,
引用回帖:
Originally posted by 小小虫虫5591 at 2009-1-14 15:31:
我们这边是铂金啊(Pb)，我做溅射金膜不是为了看SEM的，是做器件电极的，必须得厚点，不然接触性不好。

呵呵，先更正一下楼主，Pb是铅，Pt才是铂，你们用的究竟是Pt-Au合金，还是Pt金属啊？

Pt太贵我们用不起，我们溅射器件电极用的只是Au，通常情况下，都要打几百个纳米，你们的溅射台可能是小的那种，我们是大型的溅射设备。

要做好金电极，影响因素很多的，例如金属跟基片间的结合力，（方便压焊机引线），比如黄金跟玻璃基片的结合力就不好，中间必须打缓冲层 如Cr-Au 或Ni Cr-Au，还要达到一定厚度，如军用标准里面的金电极要达到几个um。。。
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非淡泊无以明志，非宁静无以致远
11楼2009-01-15 09:18:51
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li_yw

木虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by 小小虫虫5591 at 2009-1-14 15:31:
我们这边是铂金啊(Pb)，我做溅射金膜不是为了看SEM的，是做器件电极的，必须得厚点，不然接触性不好。

小溅射台做Pt,真空度不够高的话,Pt会发黑,得到的电极电阻也偏大,建议真空度再提高些试试.
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12楼2009-01-16 10:04:05
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