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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 【求助】问个溅射金膜的问题
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小小虫虫5591

铜虫 (小有名气)

[交流] 【求助】问个溅射金膜的问题

大家好，我一直恼于一个问题，我在分析中心做的溅射金膜，溅射了5分钟（I=10mA），样品表面变的好黑，但是对照他们单位给的一个表：10mA下，沉积速率也就是4nm/min，那就是说我的样品上只有20nm厚左右，但是怎么会这么黑呢？还有，他们给别人做SEM时，在这个电流下只做1min,那只有4nm啊，这么薄能好导电吗？？

[ Last edited by 小小虫虫5591 on 2009-1-13 at 20:23 ]
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1楼 2009-01-13 18:39:41
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

chenfire

木虫 (著名写手)
★ ★
wdwsnnu(金币+2,VIP+0):3x,
引用回帖:
Originally posted by 小小虫虫5591 at 2009-1-14 15:31:
我们这边是铂金啊(Pb)，我做溅射金膜不是为了看SEM的，是做器件电极的，必须得厚点，不然接触性不好。

呵呵，先更正一下楼主，Pb是铅，Pt才是铂，你们用的究竟是Pt-Au合金，还是Pt金属啊？

Pt太贵我们用不起，我们溅射器件电极用的只是Au，通常情况下，都要打几百个纳米，你们的溅射台可能是小的那种，我们是大型的溅射设备。

要做好金电极，影响因素很多的，例如金属跟基片间的结合力，（方便压焊机引线），比如黄金跟玻璃基片的结合力就不好，中间必须打缓冲层 如Cr-Au 或Ni Cr-Au，还要达到一定厚度，如军用标准里面的金电极要达到几个um。。。
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非淡泊无以明志，非宁静无以致远
11楼2009-01-15 09:18:51
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普通回帖

memser

★
wdwsnnu(金币+1,VIP+0):3x，谢谢讨论
我用３１８０溅射过铝和金，但是都比你的厚，一般上千埃。但是电镀金的时候的确遇到过金表面变黑的，因为金在空气中很容易氧化。你溅射的本薄很薄，我觉得可能因为氧化的原因导致表面变黑，猜测而已～～～
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2楼2009-01-13 19:31:42
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小小虫虫5591

铜虫 (小有名气)
谢谢楼上的，不过金在空气中不容易氧化吧，不是有句话叫“真金不怕火炼吗？”，不知道纳米金会怎样？还有不知道是不是由于纳米金不反射光的原因。
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3楼2009-01-13 21:48:49
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zhangwj

荣誉版主 (职业作家)

小木虫无限续航核潜艇
哈哈～～
你溅射的时候真空多少？气氛是什么？
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谢谢支持材料区@小木虫论坛
4楼2009-01-13 22:31:46
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小小虫虫5591

铜虫 (小有名气)
回楼上，我溅射的真空度6Pa,金靶和样品间距是3CM,感觉这个沉积速率太小了吧
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5楼2009-01-14 09:08:29
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小小虫虫5591

铜虫 (小有名气)
还有，我想问大家下，怎样把我的金币给帮助我的朋友们，我很想报答的
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6楼2009-01-14 09:13:40
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memser

引用回帖:
Originally posted by 小小虫虫5591 at 2009-1-14 09:13:
还有，我想问大家下，怎样把我的金币给帮助我的朋友们，我很想报答的

那你开始得设置下的没关系了,大家都是一起共同学习讨论互相帮助,.欢迎常来.
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7楼2009-01-14 10:09:53
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chenfire

木虫 (著名写手)
★ ★ ★
memser(金币+3,VIP+0):学习了，明天我也问下我们那边做溅射的：）
是不是做SEM之前溅射一层导电层啊？
如果溅射的是黄金，不会变黑的，薄的金显红色，
变黑可能是溅射的是金钯合金，含有钯，
我们测试中心用的靶材就是这个，
通常还是称为金，但是溅射出来的颜色是黑色的。

溅射的厚度要看你样品的特性，我们做的无机粉体或者陶瓷，只溅射50秒
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非淡泊无以明志，非宁静无以致远
8楼2009-01-14 14:20:11
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小小虫虫5591

铜虫 (小有名气)
我们这边是铂金啊(Pb)，我做溅射金膜不是为了看SEM的，是做器件电极的，必须得厚点，不然接触性不好。
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9楼2009-01-14 15:31:33
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zhangwj

荣誉版主 (职业作家)

小木虫无限续航核潜艇
★ ★
wdwsnnu(金币+2,VIP+0):3x，谢谢讨论
引用回帖:
Originally posted by 小小虫虫5591 at 2009-1-14 09:08:
回楼上，我溅射的真空度6Pa,金靶和样品间距是3CM,感觉这个沉积速率太小了吧

个人认为，本底真空偏低。
要是感觉沉积速率太小，把电流调大，靶拉近一些。

如楼上的版友讲的，可能还有靶的问题。
为什么你们都用合金靶呢？我们这边用的都是99.99的金靶啊？

你要确定以前成功的实验参数，然后检查这次参数的有无差别。
同一台仪器也可能会有变化，就是重复性不好!
祝你好运!
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谢谢支持材料区@小木虫论坛
10楼2009-01-14 16:20:54
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