| 查看: 5226 | 回复: 31 | ||||
[交流]
有没有用磁控溅射方法溅射石墨靶的同学 已有17人参与
|
||||
| 直流磁控溅射方法溅射石墨靶，发现溅射率很低，有没有什么方法可以提高溅射速率的呢 |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 薄膜制备与特性 |
» 猜你喜欢
科研求助
已经有3人回复
-
面上没中，邀请各位路过的虫友分析一下分数
已经有15人回复
-
博士去二本高校当辅导员，如何调整心态？
已经有10人回复
-
面上有专家说实验设备不是我们单位的
已经有6人回复
-
27细胞生物学申博
已经有5人回复
-
江苏省自然基金 什么时候出结果
已经有6人回复
-
广西大学-广州大学招聘博士后 欢迎广大优秀人才！！！
已经有11人回复
-
闲聊
已经有3人回复
-
两块石头
已经有10人回复
-
售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急
已经有15人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
9楼2017-05-18 09:58:18
cowboysling
木虫 (正式写手)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 4658.4
- 红花: 1
- 帖子: 489
- 在线: 273.5小时
- 虫号: 953635
- 注册: 2010-02-07
- 性别: GG
- 专业: 机械摩擦学与表面技术
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
|
你的溅射压力和气体流量多少？现在的溅射速率是多少？一般提高功率即可，不过要看你需要达到的目的，还有是否一定需要用直流，这个也和你所用的电源有关。 发自小木虫Android客户端 |
2楼2017-05-17 14:34:00
3楼2017-05-17 17:03:15
cowboysling
木虫 (正式写手)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 4658.4
- 红花: 1
- 帖子: 489
- 在线: 273.5小时
- 虫号: 953635
- 注册: 2010-02-07
- 性别: GG
- 专业: 机械摩擦学与表面技术
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
|
你看一下别人的文献是否需要用到这么高的气体流量。还有就是如果电源功率上不去，你要增加沉积速率会比较困难，因为石墨靶上激发的离子浓度不足，相应基体上的附着率也无法提高。 发自小木虫Android客户端 |
4楼2017-05-17 21:27:03
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
|
本帖内容被屏蔽 |
5楼2017-05-17 21:30:16
Jason-wong
至尊木虫 (职业作家)
- 应助: 160 (高中生)
- 金币: 12897
- 散金: 4660
- 红花: 31
- 帖子: 4127
- 在线: 640.9小时
- 虫号: 1707318
- 注册: 2012-03-21
- 专业: 金属材料表面科学与工程
6楼2017-05-18 08:25:23
7楼2017-05-18 09:18:16
8楼2017-05-18 09:53:46
cowboysling
木虫 (正式写手)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 4658.4
- 红花: 1
- 帖子: 489
- 在线: 273.5小时
- 虫号: 953635
- 注册: 2010-02-07
- 性别: GG
- 专业: 机械摩擦学与表面技术
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
|
你的腔体多大？我用的是直径650的，一般10sccm就可以上到3pa以上了。而且前面有人也说了，可以换射频，不过不知道你的实验是不是一定要用直流？你是磁控溅射制备石墨烯吗？ 发自小木虫Android客户端 |
10楼2017-05-18 10:00:43