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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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拾肆洛希

铁虫 (初入文坛)

[交流] 有没有用磁控溅射方法溅射石墨靶的同学 已有17人参与

直流磁控溅射方法溅射石墨靶,发现溅射率很低,有没有什么方法可以提高溅射速率的呢
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拾肆洛希

铁虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by cowboysling at 2017-05-17 21:27:03
你看一下别人的文献是否需要用到这么高的气体流量。还有就是如果电源功率上不去,你要增加沉积速率会比较困难,因为石墨靶上激发的离子浓度不足,相应基体上的附着率也无法提高。
...

气体流量是因为我的腔体比较大,80以下的话压强根本上不去
9楼2017-05-18 09:58:18
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普通回帖

cowboysling

木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
你的溅射压力和气体流量多少?现在的溅射速率是多少?一般提高功率即可,不过要看你需要达到的目的,还有是否一定需要用直流,这个也和你所用的电源有关。

发自小木虫Android客户端
2楼2017-05-17 14:34:00
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拾肆洛希

铁虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by cowboysling at 2017-05-17 14:34:00
你的溅射压力和气体流量多少?现在的溅射速率是多少?一般提高功率即可,不过要看你需要达到的目的,还有是否一定需要用直流,这个也和你所用的电源有关。

气压1.0pa,氩气100sccm,这个也是我要研究的变量,我提高功率方面有限制,这个电源电压超过600V就会报警
3楼2017-05-17 17:03:15
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cowboysling

木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by 拾肆洛希 at 2017-05-17 17:03:15
气压1.0pa,氩气100sccm,这个也是我要研究的变量,我提高功率方面有限制,这个电源电压超过600V就会报警...

你看一下别人的文献是否需要用到这么高的气体流量。还有就是如果电源功率上不去,你要增加沉积速率会比较困难,因为石墨靶上激发的离子浓度不足,相应基体上的附着率也无法提高。

发自小木虫Android客户端
4楼2017-05-17 21:27:03
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091820053

禁虫 (知名作家)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
本帖内容被屏蔽

5楼2017-05-17 21:30:16
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Jason-wong

至尊木虫 (职业作家)

6楼2017-05-18 08:25:23
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hyha

新虫 (正式写手)

引用回帖:
6楼: Originally posted by Jason-wong at 2017-05-18 08:25:23
用射频啊

同感

发自小木虫Android客户端
7楼2017-05-18 09:18:16
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拾肆洛希

铁虫 (初入文坛)

引用回帖:
6楼: Originally posted by Jason-wong at 2017-05-18 08:25:23
用射频啊

就是没有射频的设备啊,中频也试过了,溅射率更低
8楼2017-05-18 09:53:46
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cowboysling

木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
9楼: Originally posted by 拾肆洛希 at 2017-05-18 09:58:18
气体流量是因为我的腔体比较大,80以下的话压强根本上不去...

你的腔体多大?我用的是直径650的,一般10sccm就可以上到3pa以上了。而且前面有人也说了,可以换射频,不过不知道你的实验是不是一定要用直流?你是磁控溅射制备石墨烯吗?

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10楼2017-05-18 10:00:43
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