应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 有没有用磁控溅射方法溅射石墨靶的同学
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
321/4返回列表1234下一页
查看: 4851  |  回复: 31
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

拾肆洛希

铁虫 (初入文坛)

[交流] 有没有用磁控溅射方法溅射石墨靶的同学 已有17人参与

直流磁控溅射方法溅射石墨靶，发现溅射率很低，有没有什么方法可以提高溅射速率的呢
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

薄膜制备与特性

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
1楼 2017-05-17 14:10:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

拾肆洛希

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by cowboysling at 2017-05-17 21:27:03
你看一下别人的文献是否需要用到这么高的气体流量。还有就是如果电源功率上不去，你要增加沉积速率会比较困难，因为石墨靶上激发的离子浓度不足，相应基体上的附着率也无法提高。
...

气体流量是因为我的腔体比较大，80以下的话压强根本上不去
赞一下(2人) 回复此楼
9楼2017-05-18 09:58:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

cowboysling

木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
你的溅射压力和气体流量多少？现在的溅射速率是多少？一般提高功率即可，不过要看你需要达到的目的，还有是否一定需要用直流，这个也和你所用的电源有关。

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
2楼2017-05-17 14:34:00
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

拾肆洛希

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by cowboysling at 2017-05-17 14:34:00
你的溅射压力和气体流量多少？现在的溅射速率是多少？一般提高功率即可，不过要看你需要达到的目的，还有是否一定需要用直流，这个也和你所用的电源有关。

气压1.0pa，氩气100sccm，这个也是我要研究的变量，我提高功率方面有限制，这个电源电压超过600V就会报警
赞一下 回复此楼
3楼2017-05-17 17:03:15
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

cowboysling

木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by 拾肆洛希 at 2017-05-17 17:03:15
气压1.0pa，氩气100sccm，这个也是我要研究的变量，我提高功率方面有限制，这个电源电压超过600V就会报警...

你看一下别人的文献是否需要用到这么高的气体流量。还有就是如果电源功率上不去，你要增加沉积速率会比较困难，因为石墨靶上激发的离子浓度不足，相应基体上的附着率也无法提高。

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
4楼2017-05-17 21:27:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

091820053

禁虫 (知名作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
本帖内容被屏蔽
5楼2017-05-17 21:30:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Jason-wong

至尊木虫 (职业作家)
用射频啊

发自小木虫IOS客户端
回复此楼
6楼2017-05-18 08:25:23
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

hyha

新虫 (正式写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by Jason-wong at 2017-05-18 08:25:23
用射频啊

同感

发自小木虫Android客户端
回复此楼
7楼2017-05-18 09:18:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

拾肆洛希

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by Jason-wong at 2017-05-18 08:25:23
用射频啊

就是没有射频的设备啊，中频也试过了，溅射率更低
赞一下 回复此楼
8楼2017-05-18 09:53:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

cowboysling

木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
9楼: Originally posted by 拾肆洛希 at 2017-05-18 09:58:18
气体流量是因为我的腔体比较大，80以下的话压强根本上不去...

你的腔体多大？我用的是直径650的，一般10sccm就可以上到3pa以上了。而且前面有人也说了，可以换射频，不过不知道你的实验是不是一定要用直流？你是磁控溅射制备石墨烯吗？

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
10楼2017-05-18 10:00:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 拾肆洛希 的主题更新
321/4返回列表1234下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 304求调剂 +7 c297914 2026-04-05 8/400 2026-04-05 22:13 by hemengdong
[考研] 307分材料专业求调剂 +7 Hll胡 2026-04-05 7/350 2026-04-05 18:47 by 无际的草原
[考研] 318求调剂 +11 ykyhsa 2026-04-05 13/650 2026-04-05 12:44 by aidndnjck
[考研] 271分求调剂学校 +12 zph158488！ 2026-04-02 13/650 2026-04-05 10:13 by lqwchd
[考研] 材料与化工306分找调剂 +12 沧海轻舟e 2026-04-03 13/650 2026-04-04 23:45 by lqwchd
[考研] 本科211 分数293请求调剂 +4 莲菜就是藕吧 2026-04-01 4/200 2026-04-04 22:32 by hemengdong
[考研] 085600调剂 +4 1amJJ 2026-04-02 4/200 2026-04-04 21:53 by hemengdong
[考研] 材料调剂 +12 一样YWY 2026-04-02 13/650 2026-04-04 20:49 by 蓝云思雨
[考研] 309求调剂 +4 快乐的小白鸽 2026-04-04 5/250 2026-04-04 15:55 by cql1109
[考研] 294求调剂 +6 Grey_Ey 2026-04-03 6/300 2026-04-03 20:46 by 欣喜777
[考研] 一志愿北京交通大学材料工程总分358 +4 cs0106 2026-04-03 4/200 2026-04-03 13:41 by 百灵童888
[考研] 282求调剂 +5 呼吸都是减肥 2026-03-31 5/250 2026-04-03 12:03 by 1753564080
[考研] 311求调剂一志愿合肥工业大学 +15 秋二十二 2026-03-30 15/750 2026-04-03 10:19 by linyelide
[考研] 一志愿厦门大学材料工程专硕354找调剂！！！ +8 贝呗钡钡 2026-03-30 8/400 2026-04-03 09:41 by hypershenger
[考研] 326求调剂 +3 9ahye 2026-04-02 4/200 2026-04-03 08:43 by Jaylen.
[考研] 一志愿郑大材料工程290求调剂 +20 Youth_ 2026-03-30 20/1000 2026-04-02 14:48 by 5896
[考研] 一志愿北京科技大学085601材料工程英一数二初试总分335求调剂 +9 双马尾痞老板2 2026-04-01 9/450 2026-04-02 12:14 by oooqiao
[考研] 070300化学专业279调剂 +10 哈哈哈^_^ 2026-03-31 10/500 2026-03-31 23:13 by liu823948201
[考研] 一志愿西交大080500材料学硕349 +6 jqx1258 2026-03-31 7/350 2026-03-31 21:08 by yuq
[考研] 293求调剂 +3 末未mm 2026-03-30 5/250 2026-03-30 17:23 by 王保杰33
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭