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yu88zhou

新虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
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3楼: Originally posted by 拾肆洛希 at 2017-05-17 17:03:15
气压1.0pa,氩气100sccm,这个也是我要研究的变量,我提高功率方面有限制,这个电源电压超过600V就会报警...

你是那个学校的?能聊聊吗?我是高能所的

发自小木虫Android客户端
21楼2017-05-21 21:06:28
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起名字真难诶

新虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
这个气压有点高呀

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22楼2017-05-24 11:58:58
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拾肆洛希

铁虫 (初入文坛)

引用回帖:
17楼: Originally posted by cowboysling at 2017-05-18 20:50:55
我的靶材是直径60,厚度3的
...

谢谢了,我先做一组正交实验看看哪个参数影响更大
23楼2017-05-25 15:48:34
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拾肆洛希

铁虫 (初入文坛)

引用回帖:
22楼: Originally posted by 起名字真难诶 at 2017-05-24 11:58:58
这个气压有点高呀

这是考虑到节流阀性能和分子泵抽气速率的,不然气体流量可调范围太小了
24楼2017-05-25 15:52:09
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13015538501

新虫 (初入文坛)

25楼2017-05-27 09:17:55
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平凡清风

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
同学你好,不知道你有没有成功溅射出来石墨膜了。
26楼2017-10-08 19:53:52
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拾肆洛希

铁虫 (初入文坛)

引用回帖:
26楼: Originally posted by 平凡清风 at 2017-10-08 19:53:52
同学你好,不知道你有没有成功溅射出来石墨膜了。

勉强成膜,但是性能很差,膜层也很容易剥落
27楼2017-10-26 16:26:11
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申锋涛

铁虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
碳靶的溅射产额相比其他靶材确实很小,沉积速率很慢,我之前2个碳靶(2.5A、600v)沉积3个小时.
28楼2017-11-21 22:40:14
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无限_love

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
我现在用的射频溅射石墨靶,感觉溅射速率不是很低!
29楼2018-01-13 09:31:20
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13792431820

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
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11楼: Originally posted by 拾肆洛希 at 2017-05-18 10:04:44
我做类金刚石,我直径600,高500,现在设备有限,只有一个直流的单靶和一组中频的孪生靶...

能不能给一下联系方式呀
30楼2018-06-15 15:58:39
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