有没有用磁控溅射方法溅射石墨靶的同学 - 功能材料 - 功能薄膜

21楼2017-05-21 21:06:28

起名字真难诶

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这个气压有点高呀

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22楼2017-05-24 11:58:58

拾肆洛希

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17楼: Originally posted by cowboysling at 2017-05-18 20:50:55
我的靶材是直径60，厚度3的
...

谢谢了，我先做一组正交实验看看哪个参数影响更大

23楼2017-05-25 15:48:34

拾肆洛希

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22楼: Originally posted by 起名字真难诶 at 2017-05-24 11:58:58
这个气压有点高呀

这是考虑到节流阀性能和分子泵抽气速率的，不然气体流量可调范围太小了

24楼2017-05-25 15:52:09

13015538501

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材料人路过

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25楼2017-05-27 09:17:55

平凡清风

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同学你好，不知道你有没有成功溅射出来石墨膜了。

26楼2017-10-08 19:53:52

拾肆洛希

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26楼: Originally posted by 平凡清风 at 2017-10-08 19:53:52
同学你好，不知道你有没有成功溅射出来石墨膜了。

勉强成膜，但是性能很差，膜层也很容易剥落

27楼2017-10-26 16:26:11

申锋涛

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碳靶的溅射产额相比其他靶材确实很小，沉积速率很慢，我之前2个碳靶（2.5A、600v）沉积3个小时.

28楼2017-11-21 22:40:14

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我现在用的射频溅射石墨靶，感觉溅射速率不是很低！

29楼2018-01-13 09:31:20

13792431820

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11楼: Originally posted by 拾肆洛希 at 2017-05-18 10:04:44
我做类金刚石，我直径600，高500，现在设备有限，只有一个直流的单靶和一组中频的孪生靶...

能不能给一下联系方式呀

30楼2018-06-15 15:58:39